半导体用材料减高精度压阀压力调整器

半导体用材料减高精度压阀压力调整器

半导体用材料减高精度压阀压力调整器

产品特点

• 专为特殊气体应用设计：JETV-1525减压阀适用于半导体、液晶、太阳能电池等各种半导体用材料气体的减压。
• 高精度压力控制：能够精确控制气体的压力，确保在不同工艺条件下都能保持稳定的气体供应。
• 优良的密封性能：采用先进的密封技术，有效防止气体泄漏，确保使用安全。
• 宽广的调整压力范围：可以满足多种工艺需求，适应不同的工作压力环境。
• 耐用性强：采用高质量材料制造，能够在恶劣的工业环境中长期稳定运行。

技术参数

• 入口压力：14.8MPa以下。
• 调整压力：最大0.99MPa，量程规格包括0～0.2MPa、0～0.4MPa、0～0.6MPa、0～0.99MPa。
• 气源压力波动：进口压力每变化0.1MPa，调整压力变化0.00075MPa。
• 承受压力：22.2MPa（进口侧）。
• Cv值：0.08。
• 工作温度：-10°C至+40°C。
• 外部泄漏：1×10^-11 Pa・m³/s・He（真空法）。
• 内容量：12.58cm³（不包括3个压力表和接头）。
• 重量：约2.4kg。
• 安装方法：前后面板安装用螺母安装。

应用领域

• 半导体制造：用于半导体生产过程中的气体供应，确保气体压力的稳定性和精确性。
• 液晶面板生产：在液晶面板制造过程中，用于控制气体压力，提高生产效率和产品质量。
• 太阳能电池制造：为太阳能电池生产提供稳定的气体供应，确保生产过程的顺利进行。
• 分析仪器：在各种分析仪器中，用于精确控制气体压力，提高分析结果的准确性。

产品特点

• 专为特殊气体应用设计：JETV-1525减压阀适用于半导体、液晶、太阳能电池等各种半导体用材料气体的减压。
• 高精度压力控制：能够精确控制气体的压力，确保在不同工艺条件下都能保持稳定的气体供应。
• 优良的密封性能：采用先进的密封技术，有效防止气体泄漏，确保使用安全。
• 宽广的调整压力范围：可以满足多种工艺需求，适应不同的工作压力环境。
• 耐用性强：采用高质量材料制造，能够在恶劣的工业环境中长期稳定运行。

技术参数

• 入口压力：14.8MPa以下

  。
• 调整压力：最大0.99MPa，量程规格包括0～0.2MPa、0～0.4MPa、0～0.6MPa、0～0.99MPa。
• 气源压力波动：进口压力每变化0.1MPa，调整压力变化0.00075MPa

  。
• 承受压力：22.2MPa（进口侧）

  。
• Cv值：0.08

  。
• 工作温度：-10°C至+40°C

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• 外部泄漏：1×10^-11 Pa・m³/s・He（真空法）

  。
• 内容量：12.58cm³（不包括3个压力表和接头）

  。
• 重量：约2.4kg。
• 安装方法：前后面板安装用螺母安装

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应用领域

• 半导体制造：用于半导体生产过程中的气体供应，确保气体压力的稳定性和精确性。
• 液晶面板生产：在液晶面板制造过程中，用于控制气体压力，提高生产效率和产品质量。
• 太阳能电池制造：为太阳能电池生产提供稳定的气体供应，确保生产过程的顺利进行。
• 分析仪器：在各种分析仪器中，用于精确控制气体压力，提高分析结果的准确性

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