日本 TANAKA TORR-L 半导体气体压力调节器

日本 TANAKA TORR-L 半导体气体压力调节器日本 TANAKA TORR-L 半导体气体压力调节器

设备基础规格

• 接气主体材质：SUS316，膜片 SUS316L

• 入口最高使用压力：1.5MPa

• 出口最高使用压力：0.06MPa

• 最大流量：40L/min (nor)

• 使用温度范围：-5~40℃

• 整机重量：5.2kg

• 出入口端口口径：3/8 英寸

• 外部泄漏量：1.3×10⁻⁸Pa・m³/sec 以下

  核心产品特性

  TORR-L 系列是拥有长期应用实绩的半导体气体压力调节器，在行业内认可度高，产品全部在 0.3μm 等级 1000 级洁净车间完成组装，从源头降低粉尘污染，满足半导体工艺对洁净度的严苛要求。每台设备出厂前均执行包含氦气检漏在内的全套出货检验，保障产品密封性，杜绝气体泄漏风险。阀体接触气体金属部件可做电解研磨加工，表面粗糙度可达 Ra0.25μm，降低气体吸附，适配各类高纯工艺气体。该型号主打二次侧微压稳定控制，调压手感平顺，压力输出波动小，能够在流量变化时维持下游压力稳定。支持定制化选型，可根据客户使用气体、进出口压力、流量需求以及接头规格单独设计制作，提供 NPT、VCR、Swagelok 等多种接口方案。调压手柄操作便捷，搭配压力表实时直观读取压力数值，结构耐用，长期连续工况下依然保持稳定调压性能，适配精密半导体产线的连续运行需求。

  适用场景

  
  

  适用于半导体晶圆制造、光伏、电子元器件生产等高纯工艺供气系统，用于工艺氮气、特种高纯气体管路的压力调节与稳压控制，也可用于实验室精密气体供给、分析仪器气体回路微压控制，满足洁净工艺环境下对气体压力高精度、高密封性的使用需求。