工业级大流量气体质量流量调节计控制器

产品名称: 工业级大流量气体质量流量调节计控制器

产品型号: 6700系列

产品特点: 工业级大流量气体质量流量调节计控制器
日本 KOFLOC 6700 系列是专为“大流量、零泄漏"设计的工业级压力调节器（Pressure Reducing Regulator），适用于气体质量流量计/控制器（MFC）入口稳压、半导体吹扫、化工反应器、燃料电池测试台等需要 10–600 L/min 级别洁净气体且不允许任何旁通泄漏的场合。

工业级大流量气体质量流量调节计控制器 的详细介绍

工业级大流量气体质量流量调节计控制器

日本 KOFLOC 6700 系列是专为“大流量、零泄漏"设计的工业级压力调节器（Pressure Reducing Regulator），适用于气体质量流量计/控制器（MFC）入口稳压、半导体吹扫、化工反应器、燃料电池测试台等需要 10–600 L/min 级别洁净气体且不允许任何旁通泄漏的场合。

✅ 系列定位

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项目	说明
型号	6700 系列（6701 / 6702 / 6703 / 6704）
通径	1/4″、3/8″、1/2″、3/4″（对应 6701→6704）
零泄漏	金属波纹管 + 双 O-ring，He 泄漏率 ≤ 1 × 10⁻⁹ Pa·m³/s
大流量	Max 600 L/min（N₂，入口 0.7 MPa，出口 0.2 MPa）
用途	MFC 入口稳压、半导体 purge、燃料电池台、化工配气

⚙️ 主要规格

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参数	6701	6702	6703	6704
端口尺寸	RC1/4	RC3/8	RC1/2	RC3/4
最大入口压力	1.0 MPa	1.0 MPa	1.0 MPa	1.0 MPa
出口调压范围	0.01–0.4 MPa	0.01–0.4 MPa	0.01–0.4 MPa	0.01–0.4 MPa
Cv 值	0.4	0.8	1.4	2.2
流量能力	100 L/min	200 L/min	400 L/min	600 L/min
阀座材料	PCTFE（标准），可选 PFA、SUS316L
波纹管	SUS316L 焊接，弹性密封，无背漏
温度范围	-10 – 70 ℃（可选高温 120 ℃型）
重量	0.7 kg	0.9 kg	1.3 kg	1.8 kg

🔍 结构亮点

金属波纹管平衡式
入口压力波动自动补偿，出口压力变化 ≤ ±0.3 % F.S.（入口 0.3→0.7 MPa 阶跃）。
双密封零泄漏
波纹管 + FKM/FFKM O-ring，He 检漏 ≤ 1 × 10⁻⁹ Pa·m³/s，满足 SEMI F70、ISO 15848-1 BH 级。
大 Cv 设计
阀座流道采用 CFD 优化，压降比传统 3000 系列降低 35 %，同等流量可选更小口径。
洁净级处理
全系列经 0.1 µm 过滤洁净空气吹扫 + 超声波纯水清洗，颗粒 ≤ 100 pcs/ft³ (@0.1 µm)。
面板/底板两用
自带 30 × 30 mm 方板，可嵌入 19″ 机架或管路在线安装，无需额外支架。

📈 典型应用流程

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系统	用法	效果
半导体 CVD	MFC 入口稳压 0.15 MPa	流量重复性 ↑ 0.5 % → 0.1 %
燃料电池台	阳极 H₂ 0.2 MPa 恒压	防止膜入口压力脉冲破裂
化工配气	反应器 6 路大流量 N₂ 吹扫	6704 一路替代两只传统 R-700，节省空间 40 %
LPG 混合燃烧	0.3 MPa 减压至 0.05 MPa	零泄漏避免危险气体渗入控制柜

🛠️ 选型与选项

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代码	含义
-HT	高温型 120 ℃，阀座 PEEK + FFKM
-PFA	全 PFA 阀座，强腐蚀性气体（Cl₂、HBr）
-B	带入口 0.3 MPa 安全阀，防止过压冲击 MFC
-C	出口压力表 Ø50 mm，0–0.4 MPa，面板安装
-SC	表面电解抛光 Ra ≤ 0.25 µm，UHP 级

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