实验室低压标准气体精密压力调整器

产品名称: 实验室低压标准气体精密压力调整器

产品型号: 6610型

产品特点: 实验室低压标准气体精密压力调整器
日本 KOFLOC 6610 型是一款专为“低压、无泄漏、精密控制"场景设计的压力调节器，集合了：
金属波纹管＋双密封＝He 漏率 ≤1×10⁻⁹ Pa·m³/s
平衡阀芯＝入口波动自动补偿，出口压力不受上游变化影响
0–0.4 MPa 全量程精度 ±0.5 % F.S.

实验室低压标准气体精密压力调整器 的详细介绍

实验室低压标准气体精密压力调整器

日本 KOFLOC 6610 型是一款专为“低压、无泄漏、精密控制"场景设计的压力调节器，集合了：

金属波纹管＋双密封＝He 漏率 ≤1×10⁻⁹ Pa·m³/s
平衡阀芯＝入口波动自动补偿，出口压力不受上游变化影响
0–0.4 MPa 全量程精度 ±0.5 % F.S.
端口 1/4–1/2 英寸可选，材质全 SUS316L，可应对腐蚀性气体/液体

典型用途：半导体 purge、燃料电池阳极低压配气、分析仪器载气入口、实验室低压标准气体发生等。

1. 型号与流通能力

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型号	端口	Cv	大流量 *	适用管径
6610-02	Rc1/4	0.2	10 L/min	DN6-10
6610-03	Rc3/8	0.4	25 L/min	DN10-15
6610-04	Rc1/2	0.7	50 L/min	DN15-20

*N₂、0.1 MPa 入口、0.05 MPa 出口条件下实测值

2. 主要规格

入口压力：0–1.0 MPa
出口调压：0.005–0.4 MPa（5–400 kPa）
灵敏度：≤0.2 kPa
温度范围：-10–80 ℃（可选高温 150 ℃型）
密封等级：ISO 15848-1 BH 级／He 漏率 ≤1×10⁻⁹ Pa·m³/s
材质接液：SUS316L + 氟橡胶（FKM）/FFKM 可选
重量：0.7 kg（1/4 型）

3. 结构亮点

① 金属波纹管感知元件 → 无摩擦、无滞后，长期使用漂移＜0.3 %/年
② 平衡式阀芯 → 入口压力波动 0.05→0.8 MPa 时，出口变化＜±0.3 kPa
③ 双密封设计 → 满足 SEMI F70、FCG 无泄漏要求
④ 面板/底板两用 → 30×30 mm 方板，可直接装入 19″ 机架
⑤ 内置 40 μm 过滤网 → 防止颗粒卡阀，可在线冲洗

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1. 型号与流通能力

2. 主要规格

3. 结构亮点

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