低浓度臭氧环境测量半导体制造用

低浓度臭氧环境测量半导体制造用

低浓度臭氧环境测量半导体制造用

测量性能

• 测量方法：采用紫外线吸收法，依据朗伯-比尔定律，通过光度吸收原理精确测量臭氧浓度。
• 测量范围：低浓度测量范围为0至0.2ppm，中浓度测量范围为0至0.5ppm。
• 最小指示值：0.0001ppm（0.1ppb），可显示负值。
• 精度：线性度、再现性和准确性均为±0.5%/满量程。
• 漂移：零漂移和跨度漂移均为±0.5%/FS/月。

设备设计

• 样品流速：1.5至2升/分钟。
• 测量周期：12秒（标准）。
• 显示：浓度显示为LED大写字母（红色），信息显示为绿色小写字母，两行显示。
• 输出功能：具备瞬时值0至1V DC的模拟输出，以及1小时平均值0至1V DC的输出。同时配备遥测输出和RS-232C接口。

环境适应性

• 工作温度：0至45°C。
• 工作湿度：10至80%（无冷凝）。
• 温度补偿功能：内置反应池温度传感器。
• 压力补偿功能：反应池内内置压力传感器。

物理特性

• 电源：AC100V，50/60Hz，约70VA。
• 外形尺寸：430宽×132高×410深。
• 重量：约10公斤。

适用场景

测量性能

• 测量方法：采用紫外线吸收法，依据朗伯-比尔定律，通过光度吸收原理精确测量臭氧浓度。
• 测量范围：低浓度测量范围为0至0.2ppm，中浓度测量范围为0至0.5ppm

  。
• 最小指示值：0.0001ppm（0.1ppb），可显示负值

  。
• 精度：线性度、再现性和准确性均为±0.5%/满量程。
• 漂移：零漂移和跨度漂移均为±0.5%/FS/月。

设备设计

• 样品流速：1.5至2升/分钟

  。
• 测量周期：12秒（标准）。
• 显示：浓度显示为LED大写字母（红色），信息显示为绿色小写字母，两行显示

  。
• 输出功能：具备瞬时值0至1V DC的模拟输出，以及1小时平均值0至1V DC的输出。同时配备遥测输出和RS-232C接口

  。

环境适应性

• 工作温度：0至45°C

  。
• 工作湿度：10至80%（无冷凝）

  。
• 温度补偿功能：内置反应池温度传感器

  。
• 压力补偿功能：反应池内内置压力传感器

  。

物理特性

• 电源：AC100V，50/60Hz，约70VA

  。
• 外形尺寸：430宽×132高×410深

  。
• 重量：约10公斤

  。

适用场景