高纯度化学品设计无脉动磁悬浮叶轮离心泵

高纯度化学品设计无脉动磁悬浮叶轮离心泵

高纯度化学品设计无脉动磁悬浮叶轮离心泵

1. 接触液部分 100% 高纯氟塑料
• 流道：PTFE/PFA
• 密封：Tongue-&-Groove 无 O-ring 结构，实现零泄漏
• 电缆外护套：FEP 涂层，防止离子析出
2. 磁悬浮驱动
• 叶轮与泵壳无机械接触，无轴承、无轴封，颗粒生成量 < 0.3 pcs/mL (0.1 µm)
• 通过变频 0-1 kHz 精确调速，流量线性可调 5-140 L/min，重复性 ±1% F.S.
3. 性能边界
• 最大排放压力 150 psi (10.3 bar)
• 推荐连续运行压差 ≤ 69 psi (4.8 bar)
• 流体温度范围 15-90 °C；选配气冷模块后，可在 90 °C 下连续工作（需 8 SCFM @ 30 psi 仪表风）
4. 典型应用
• CMP 研磨液循环：低剪切保证粒径分布，延长过滤器寿命 2-3 倍
• 显影液、蚀刻液、超纯水 (UPW) 连续供液
• 半导体湿法台、LED 湿刻、光伏制绒清洗线
5. 接口与尺寸
• 泵体自重 20 kg，进出液口可选 ¾"-1" PFA 快拧、NPT 或法兰；可 360° 任意方向安装
• 控制器输入 200-240 VAC 50/60 Hz，输出 0-264 VAC 三相，最大功率 2.5 kW，防护等级 IP54
6. 国内现货与售后
• 2025-Q4 国内常用电压版本现货 1-2 周；标配 3 m FEP 电源/信号一体缆

1. 接触液部分 100% 高纯氟塑料
• 流道：PTFE/PFA
• 密封：Tongue-&-Groove 无 O-ring 结构，实现零泄漏
• 电缆外护套：FEP 涂层，防止离子析出
2. 磁悬浮驱动
• 叶轮与泵壳无机械接触，无轴承、无轴封，颗粒生成量 < 0.3 pcs/mL (0.1 µm)
• 通过变频 0-1 kHz 精确调速，流量线性可调 5-140 L/min，重复性 ±1% F.S.
3. 性能边界
• 最大排放压力 150 psi (10.3 bar)
• 推荐连续运行压差 ≤ 69 psi (4.8 bar)
• 流体温度范围 15-90 °C；选配气冷模块后，可在 90 °C 下连续工作（需 8 SCFM @ 30 psi 仪表风）
4. 典型应用
• CMP 研磨液循环：低剪切保证粒径分布，延长过滤器寿命 2-3 倍
• 显影液、蚀刻液、超纯水 (UPW) 连续供液
• 半导体湿法台、LED 湿刻、光伏制绒清洗线
5. 接口与尺寸
• 泵体自重 20 kg，进出液口可选 ¾"-1" PFA 快拧、NPT 或法兰；可 360° 任意方向安装
• 控制器输入 200-240 VAC 50/60 Hz，输出 0-264 VAC 三相，最大功率 2.5 kW，防护等级 IP54
6. 国内现货与售后
• 2025-Q4 国内常用电压版本现货 1-2 周；标配 3 m FEP 电源/信号一体缆