光学工业适用多级直联式干式罗茨真空泵

产品名称: 光学工业适用多级直联式干式罗茨真空泵

产品型号: TRV系列

产品特点: 光学工业适用多级直联式干式罗茨真空泵
日本 Unozawa（宇野泽）TRV 系列是一款“多级直联式干式罗茨真空泵"，明确将其列为光学工业适用机型，可全程无油运行，满足光学镀膜、镜头脱水等洁净度要求。核心特点如下：
结构
多级罗茨转子直联变频电机，无齿轮箱、无润滑油接触真空腔
立式布局，占地 ≤ 0.2 m²，可穿墙安装，维护面仅正面一侧
光学行业对应性能
单台抽速 180-1 200 m³

光学工业适用多级直联式干式罗茨真空泵 的详细介绍

光学工业适用多级直联式干式罗茨真空泵

日本 Unozawa（宇野泽）TRV 系列是一款“多级直联式干式罗茨真空泵"，明确将其列为光学工业适用机型，可全程无油运行，满足光学镀膜、镜头脱水等洁净度要求。核心特点如下：

结构

多级罗茨转子直联变频电机，无齿轮箱、无润滑油接触真空腔
立式布局，占地 ≤ 0.2 m²，可穿墙安装，维护面仅正面一侧

光学行业对应性能

单台抽速 180-1 200 m³/h（50 Hz）多型号可选，大气压→10 Pa 连续工作，适合快速粗抽与 TMP 背泵
内置气体冷却回流通道，可排可凝性溶剂（酒精、丙酮）及水汽，避免光学元件水痕
转子经动平衡+排气消音器，噪音 ≤ 62 dB(A)，1 m 声压级，可直接放于洁净室或光学车间内

材质与洁净度

过流部标准阳极氧化铝，可选 304/316L 全不锈钢规格，满足 100 级洁净室 particle ≤ 10 pcs/ft³ (0.3 µm)
轴封采用高差压双重唇形密封+氮气屏障，实现 ≤ 1×10⁻⁹ Pa·m³/s 氦漏率

典型光学工艺

精密光学镀膜机（电子束蒸发、离子辅助 IAD）粗抽与维持
相机镜头、激光晶体真空脱水、脱气
光学塑料颗粒干燥前级泵，防止油分子反扩散造成黄变

日本 Unozawa（宇野泽）TRV 系列是一款“多级直联式干式罗茨真空泵"，明确将其列为光学工业适用机型，可全程无油运行，满足光学镀膜、镜头脱水等洁净度要求

。核心特点如下：

结构

多级罗茨转子直联变频电机，无齿轮箱、无润滑油接触真空腔
立式布局，占地 ≤ 0.2 m²，可穿墙安装，维护面仅正面一侧

光学行业对应性能

单台抽速 180-1 200 m³/h（50 Hz）多型号可选，大气压→10 Pa 连续工作，适合快速粗抽与 TMP 背泵
内置气体冷却回流通道，可排可凝性溶剂（酒精、丙酮）及水汽，避免光学元件水痕
转子经动平衡+排气消音器，噪音 ≤ 62 dB(A)，1 m 声压级，可直接放于洁净室或光学车间内

材质与洁净度

过流部标准阳极氧化铝，可选 304/316L 全不锈钢规格，满足 100 级洁净室 particle ≤ 10 pcs/ft³ (0.3 µm)
轴封采用高差压双重唇形密封+氮气屏障，实现 ≤ 1×10⁻⁹ Pa·m³/s 氦漏率

典型光学工艺

精密光学镀膜机（电子束蒸发、离子辅助 IAD）粗抽与维持
相机镜头、激光晶体真空脱水、脱气
光学塑料颗粒干燥前级泵，防止油分子反扩散造成黄变

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