数字磁悬浮高抽速排气大流量复合涡轮分子泵

数字磁悬浮高抽速排气大流量复合涡轮分子泵

数字磁悬浮高抽速排气大流量复合涡轮分子泵

一、主要性能参数

• 额定抽速（N₂）：1490 L/s（VG250 法兰，无保护网）
• 极限压力：<10⁻⁷ Pa（配推荐前级泵，23 ℃空载）
• 最大允许前级背压：约 80 Pa（FW 系列设计背压高于传统机型，可配更小前级泵）
• 压缩比：N₂＞1×10¹⁰，H₂≈ 2×10⁴
• 可变速范围：25 % – 100 %（数字控制，自动跟踪负载）
• 冷却方式：水冷（内置水道，水流量 2 L/min，25 ℃）
• 允许全方向安装，不受磁悬浮轴承角度限制

二、结构与技术特点

1. 五轴主动磁浮轴承
• 转子 100 % 无接触、无油、无脂，理论上免维护 10 万小时
• 自带断电再生发电(Back-EMF)功能，停电时利用转子动能供电，维持悬浮至安全停机，无需更换电池
2. 复合级段设计
• 上部多段轴流涡轮＋下部 Holweck/螺纹牵引级，兼顾高压缩比与大通量
• 内表面可选 Ni-P+DLC、阳极氧化或特殊陶瓷涂层，提高抗卤素/含氟工艺腐蚀能力（订货代码 -HC）
3. 数字控制 & 诊断
• RS-485/UL-NET 接口，可远程读取转速、电流、振动、温度等 10 余项实时数据

一、主要性能参数

• 额定抽速（N₂）：1490 L/s（VG250 法兰，无保护网）
• 极限压力：<10⁻⁷ Pa（配推荐前级泵，23 ℃空载）
• 最大允许前级背压：约 80 Pa（FW 系列设计背压高于传统机型，可配更小前级泵）
• 压缩比：N₂＞1×10¹⁰，H₂≈ 2×10⁴
• 可变速范围：25 % – 100 %（数字控制，自动跟踪负载）
• 冷却方式：水冷（内置水道，水流量 2 L/min，25 ℃）
• 允许全方向安装，不受磁悬浮轴承角度限制

二、结构与技术特点

1. 五轴主动磁浮轴承
• 转子 100 % 无接触、无油、无脂，理论上免维护 10 万小时
• 自带断电再生发电(Back-EMF)功能，停电时利用转子动能供电，维持悬浮至安全停机，无需更换电池
2. 复合级段设计
• 上部多段轴流涡轮＋下部 Holweck/螺纹牵引级，兼顾高压缩比与大通量
• 内表面可选 Ni-P+DLC、阳极氧化或特殊陶瓷涂层，提高抗卤素/含氟工艺腐蚀能力（订货代码 -HC）
3. 数字控制 & 诊断
• RS-485/UL-NET 接口，可远程读取转速、电流、振动、温度等 10 余项实时数据