小型加压供油真空排气用回转泵

产品名称: 小型加压供油真空排气用回转泵

产品型号: EM·RV系列

产品特点: 小型加压供油真空排气用回转泵
真空排气专用 · 加压供油 · 小型 · 低振动
5-28 m³/h · 极限 0.5 Pa · 重量 16-46 kg · 并排/移动安装
一、产品定位
真空排气专用：半导体、LED、分析仪器、实验室前级真空
加压供油：内置齿轮泵强制润滑，高负荷连续运行不卡死
小型低振动：16 kg 起，底面积 A4-A3，可放通风橱/移动车
EM·RV 系列：EM 经济型，RV

小型加压供油真空排气用回转泵 的详细介绍

小型加压供油真空排气用回转泵

真空排气专用 · 加压供油 · 小型 · 低振动
5-28 m³/h · 极限 0.5 Pa · 重量 16-46 kg · 并排/移动安装

一、产品定位

真空排气专用：半导体、LED、分析仪器、实验室前级真空
加压供油：内置齿轮泵强制润滑，高负荷连续运行不卡死
小型低振动：16 kg 起，底面积 A4-A3，可放通风橱/移动车
EM·RV 系列：EM 经济型，RV 重载型，同页选型

二、核心技术参数（EM·RV 系列）

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型号	抽速	极限真空	重量	尺寸
EM-5	5 m³/h	0.5 Pa	16 kg	297×210×297 mm
EM-10	10 m³/h	0.5 Pa	22 kg	420×297×320 mm
RV-20	20 m³/h	0.5 Pa	35 kg	500×350×380 mm
RV-28	28 m³/h	0.5 Pa	46 kg	600×420×450 mm

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通用参数
原理	单级油旋片 + 加压供油（齿轮泵）
加压供油	0.3 MPa 强制循环，高负荷连续运行
油类型	VG-68 高耐磨油（ANLET 专用）
极限真空	0.5 Pa（0.005 Torr）
最大允许压力	0.1 MPa（abs）
油逆流防止	内置电磁阀（可选）
冷却方式	空冷（强制风扇）
进气口	NW16 / NW25 / NW40（型号对应）
排气口	宝塔 Φ10 mm（可转 NW16）
电源	单相 200 V 50/60 Hz，功率 0.37 – 1.5 kW
噪声	≤ 58 dB(A) @ 50 Hz（1 m）
振动	< 2.3 m/s²（无需减振垫）
寿命	30,000 h（连续运行）

三、功能亮点

0.5 Pa 极限：比同级泵极限低 50 %，适合高真级
加压供油：0.3 MPa 强制循环，24 h×365 d 连续运行不卡死
小型低振动：16 kg 起，底面积 A4-A3，可手提移动
空冷无水管：并排安装，产线无需冷却水改造
< 2.3 m/s² 低振动：可直接放楼层/洁净室，无需地基减振
≤ 58 dB 低噪音：比水冷泵低 10 dB，24 h 运行不扰人

四、典型应用系统

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半导体前级真空┌─ 工艺腔体 ─┐│               │进口← EM-10 ← 粉尘过滤器（可选）│               │└─ 回大气 ─────┘

泵进口接工艺腔体，0.5 Pa 极限，抽气时间缩短 30 %
粉尘过滤器捕集微粒，延长泵寿命

五、实测数据（实验室验证）

工艺腔体 50 L，室温 25 ℃
EM-10 50 Hz 运行：

2 min 达到 10 Pa
5 min 极限 0.5 Pa
连续 8 h 油温 <70 ℃，无冷却水
振动 < 2.3 m/s²（天平无漂移）

六、选型与配件

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件号	说明
EM-10-200	200 V 单相标准型
EM-10-EX	防爆型 Ex d IIB T4（可选）
EM-10-CT	溶剂冷阱套件（玻璃+干冰）
EM-10-NW25	NW25 快接法兰套件

七、维护与可靠性

油：VG-68 高耐磨，每 3,000 h 更换
加压油泵：齿轮泵，寿命 >30,000 h，免维护

产品留言

小型加压供油真空排气用回转泵

一、产品定位

二、核心技术参数（EM·RV 系列）

三、功能亮点

四、典型应用系统

五、实测数据（实验室验证）

六、选型与配件

七、维护与可靠性

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