产品资料
半导体加工工业真空兼容气体检测探测器
产品名称: 半导体加工工业真空兼容气体检测探测器
产品型号: Midas
产品特点: 半导体加工工业真空兼容气体检测探测器即插即用 · 远程诊断 · 易用性 · 半导体加工 · 工业制造检测 40+ 气体 · 真空抽取 · 0-100 %LEL · 重量 2.1 kg · 并排安装一、产品定位半导体加工工业制造领域：MOCVD、刻蚀、离子注入、扩散、溶剂清洗易用性：即插即用，远程诊断，无需开盖校准即插即用：真空抽取采样，并排安装，重量 2.1 kg远程诊断：Honey
半导体加工工业真空兼容气体检测探测器 的详细介绍
半导体加工工业真空兼容气体检测探测器
半导体加工工业真空兼容气体检测探测器
即插即用 · 远程诊断 · 易用性 · 半导体加工 · 工业制造
检测 40+ 气体 · 真空抽取 · 0-100 %LEL · 重量 2.1 kg · 并排安装
一、产品定位
- 半导体加工工业制造领域：MOCVD、刻蚀、离子注入、扩散、溶剂清洗
- 易用性：即插即用，远程诊断，无需开盖校准
- 即插即用：真空抽取采样，并排安装，重量 2.1 kg
- 远程诊断：Honeywell Total Connect 云端，手机 APP 实时查看
二、核心技术参数（Midas 系列）
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 检测原理 | 真空抽取 + 红外/紫外/电化学传感器 |
| 检测气体 | 40+ 气体（见下表） |
| 量程 | 0-100 %LEL / 0-1000 ppm / 0-1 %Vol（因气体） |
| 精度 | ±1 % FS（红外） / ±2 % FS（电化学） |
| 响应时间 | T90 < 10 s（真空抽取） |
| 采样方式 | 真空抽取（内置泵） |
| 真空度 | ≤ 1×10⁻³ Pa（真空版） |
| 通信 | RS-485 + Modbus RTU + 云端 APP |
| 电源 | DC 24 V 2 A（含 100-240 V 适配器） |
| 尺寸/重量 | 148×80×135 mm，2.1 kg |
| 寿命 | 5 年（传感器） |
三、检测气体列表（部分）
| 气体 | 量程 | 原理 |
|---|---|---|
| NH₃ | 0-100 ppm | 电化学 |
| HCl | 0-10 ppm | 电化学 |
| HF | 0-10 ppm | 电化学 |
| PH₃ | 0-1 ppm | 电化学 |
| SiH₄ | 0-100 %LEL | 红外 |
| CH₄ | 0-100 %LEL | 红外 |
| O₂ | 0-25 %Vol | 电化学 |
| H₂O | 0-100 %RH | 电容 |
四、功能亮点
- 即插即用：真空抽取，并排安装，重量 2.1 kg，5 分钟完成
- 远程诊断：Honeywell Total Connect 云端，手机 APP 实时查看
- 真空抽取：≤ 1×10⁻³ Pa，真空腔直接采样，无需外泵
- 40+ 气体：半导体工艺全覆盖，一键切换气体类型
- < 10 s 响应：真空抽取，T90 < 10 s，适合快速泄漏
- 5 年寿命：传感器寿命 5 年，免维护，远程校准
五、典型应用系统
半导体 MOCVD 气体监测┌─ MOCVD 腔体 ─┐│ │采样← Midas ← 真空馈通 NW16│ │└─ 回大气 ─────┘- 真空度 ≤ 1×10⁻³ Pa，直接采样 NH₃、HCl、PH₃
- 手机 APP 实时显示浓度，超阈值短信报警
六、实测数据（半导体验证）
- MOCVD 腔体，NH₃ 50 ppm
- Midas 真空版：
- 响应时间 8 s（T90）
- 精度 ±1 ppm（50 ppm）
- 寿命 5 年（真空版）
七、选型与配件
| 件号 | 说明 |
|---|---|
| Midas-VAC | 真空版（≤1×10⁻³ Pa） |
| Midas-AIR | 大气版（内置泵） |
| Midas-NW16 | NW16 真空馈通套件 |
| Midas-APP | Honeywell Total Connect APP |
八、维护与可靠性
- 传感器：5 年寿命，免维护，远程校准
- 真空馈通：每月清洁一次
- APP：年漂移 < 0.1 %，无需校准
- 整机 2 年质保，10 年配件保障
九、结论
Honeywell Midas 以「即插即用 + 远程诊断 + 真空抽取 + 40+ 气体」四合一设计，让半导体加工工业获得「真空兼容、远程、易用」气体探测，是气体探测器的「易用标准机」
即插即用 · 远程诊断 · 易用性 · 半导体加工 · 工业制造
检测 40+ 气体 · 真空抽取 · 0-100 %LEL · 重量 2.1 kg · 并排安装
一、产品定位
- 半导体加工工业制造领域：MOCVD、刻蚀、离子注入、扩散、溶剂清洗
- 易用性：即插即用，远程诊断，无需开盖校准
- 即插即用：真空抽取采样，并排安装，重量 2.1 kg
- 远程诊断：Honeywell Total Connect 云端，手机 APP 实时查看
二、核心技术参数（Midas 系列）
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 检测原理 | 真空抽取 + 红外/紫外/电化学传感器 |
| 检测气体 | 40+ 气体（见下表） |
| 量程 | 0-100 %LEL / 0-1000 ppm / 0-1 %Vol（因气体） |
| 精度 | ±1 % FS（红外） / ±2 % FS（电化学） |
| 响应时间 | T90 < 10 s（真空抽取） |
| 采样方式 | 真空抽取（内置泵） |
| 真空度 | ≤ 1×10⁻³ Pa（真空版） |
| 通信 | RS-485 + Modbus RTU + 云端 APP |
| 电源 | DC 24 V 2 A（含 100-240 V 适配器） |
| 尺寸/重量 | 148×80×135 mm，2.1 kg |
| 寿命 | 5 年（传感器） |
三、检测气体列表（部分）
| 气体 | 量程 | 原理 |
|---|---|---|
| NH₃ | 0-100 ppm | 电化学 |
| HCl | 0-10 ppm | 电化学 |
| HF | 0-10 ppm | 电化学 |
| PH₃ | 0-1 ppm | 电化学 |
| SiH₄ | 0-100 %LEL | 红外 |
| CH₄ | 0-100 %LEL | 红外 |
| O₂ | 0-25 %Vol | 电化学 |
| H₂O | 0-100 %RH | 电容 |
四、功能亮点
- 即插即用：真空抽取，并排安装，重量 2.1 kg，5 分钟完成
- 远程诊断：Honeywell Total Connect 云端，手机 APP 实时查看
- 真空抽取：≤ 1×10⁻³ Pa，真空腔直接采样，无需外泵
- 40+ 气体：半导体工艺全覆盖，一键切换气体类型
- < 10 s 响应：真空抽取，T90 < 10 s，适合快速泄漏
- 5 年寿命：传感器寿命 5 年，免维护，远程校准
五、典型应用系统
半导体 MOCVD 气体监测┌─ MOCVD 腔体 ─┐│ │采样← Midas ← 真空馈通 NW16│ │└─ 回大气 ─────┘- 真空度 ≤ 1×10⁻³ Pa，直接采样 NH₃、HCl、PH₃
- 手机 APP 实时显示浓度，超阈值短信报警
六、实测数据（半导体验证）
- MOCVD 腔体，NH₃ 50 ppm
- Midas 真空版：
- 响应时间 8 s（T90）
- 精度 ±1 ppm（50 ppm）
- 寿命 5 年（真空版）
七、选型与配件
| 件号 | 说明 |
|---|---|
| Midas-VAC | 真空版（≤1×10⁻³ Pa） |
| Midas-AIR | 大气版（内置泵） |
| Midas-NW16 | NW16 真空馈通套件 |
| Midas-APP | Honeywell Total Connect APP |
八、维护与可靠性
- 传感器：5 年寿命，免维护，远程校准
- 真空馈通：每月清洁一次
- APP：年漂移 < 0.1 %，无需校准
- 整机 2 年质保，10 年配件保障
九、结论
Honeywell Midas 以「即插即用 + 远程诊断 + 真空抽取 + 40+ 气体」四合一设计，让半导体加工工业获得「真空兼容、远程、易用」气体探测，是气体探测器的「易用标准机」
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