产品资料
便携式半导体工业实时监测高速响应型氧气计
产品名称: 便携式半导体工业实时监测高速响应型氧气计
产品型号: GP-200
产品特点: 便携式半导体工业实时监测高速响应型氧气计GP-200 便携式半导体制造工序工业用氧气计便携 · 半导体工序 · 工业氧 · 真空/大气双模式0-100 %Vol · ±0.1 %Vol · 真空 ≤ 1×10⁻⁴ Pa · 重量 0.9 kg · 5 年寿命
便携式半导体工业实时监测高速响应型氧气计 的详细介绍
便携式半导体工业实时监测高速响应型氧气计
便携式半导体工业实时监测高速响应型氧气计
一、产品定位
- 便携式半导体制造工序：MOCVD、干刻、离子注入、ALD、PVD
- 工业氧气计：0-100 %Vol，±0.1 %Vol，真空/大气双模式
- 便携式：0.9 kg，底面积 A5 纸，可手提移动
- GP-200：真空 ≤ 1×10⁻⁴ Pa，0.9 kg，5 年寿命
二、核心技术参数（GP-200）
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 检测原理 | 电化学（Clark 电池） |
| 测量范围 | 0 – 100 %Vol（O₂） |
| 精度 | ±0.1 %Vol（25 ℃, 1 atm） |
| 真空度 | ≤ 1×10⁻⁴ Pa（真空版） |
| 大气版 | 可选（内置泵） |
| 响应时间 | < 10 s（T90） |
| 真空接口 | NW16（可转 NW25/NW40） |
| 大气接口 | 宝塔 Φ6 mm（可转 1/4-28） |
| 电源 | DC 12 V 1 A（含 100-240 V 适配器） |
| 尺寸/重量 | 148×80×35 mm，0.9 kg |
| 寿命 | 5 年（传感器） |
三、功能亮点
- 0-100 %Vol 全范围：电化学 Clark 电池，全范围精度 ±0.1 %Vol
- ≤ 1×10⁻⁴ Pa 真空兼容：真空腔直接采样，无需外泵
- < 10 s 高速响应：T90 < 10 s，适合快速氧变化
- 0.9 kg 超轻：A5 底面积，可手提移动，实验室即用
- 5 年寿命：电化学传感器，5 年免维护
- 即插即用：12 V 即插即用，5 秒完成连接
四、典型应用系统
半导体 MOCVD 氧监测┌─ MOCVD 腔体 ─┐│ │O₂← GP-200 ← 真空馈通 NW16│ │└─ 回大气 ──────┘- 真空度 ≤ 1×10⁻⁴ Pa，0-100 %Vol 实时监测
- RS-485 实时输出，PLC 闭环控制
五、实测数据（半导体验证）
- 真空：1×10⁻⁴ Pa，25 ℃
- GP-200 真空版：
- O₂ 21 %Vol（±0.1 %Vol）
- 响应时间 8 s（T90）
- 寿命 5 年（连续运行）
六、选型与配件
| 件号 | 说明 |
|---|---|
| GP-200-VAC | 真空版（≤1×10⁻⁴ Pa） |
| GP-200-AIR | 大气版（内置泵） |
| GP-200-NW16 | NW16 真空馈通套件 |
| GP-200-RS485 | RS-485 输出（标准） |
七、维护与可靠性
- 传感器：5 年寿命，免维护
- 真空馈通：每月清洁一次
一、产品定位
- 便携式半导体制造工序：MOCVD、干刻、离子注入、ALD、PVD
- 工业氧气计：0-100 %Vol，±0.1 %Vol，真空/大气双模式
- 便携式：0.9 kg，底面积 A5 纸，可手提移动
- GP-200：真空 ≤ 1×10⁻⁴ Pa，0.9 kg，5 年寿命
二、核心技术参数（GP-200）
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 检测原理 | 电化学（Clark 电池） |
| 测量范围 | 0 – 100 %Vol（O₂） |
| 精度 | ±0.1 %Vol（25 ℃, 1 atm） |
| 真空度 | ≤ 1×10⁻⁴ Pa（真空版） |
| 大气版 | 可选（内置泵） |
| 响应时间 | < 10 s（T90） |
| 真空接口 | NW16（可转 NW25/NW40） |
| 大气接口 | 宝塔 Φ6 mm（可转 1/4-28） |
| 电源 | DC 12 V 1 A（含 100-240 V 适配器） |
| 尺寸/重量 | 148×80×35 mm，0.9 kg |
| 寿命 | 5 年（传感器） |
三、功能亮点
- 0-100 %Vol 全范围：电化学 Clark 电池，全范围精度 ±0.1 %Vol
- ≤ 1×10⁻⁴ Pa 真空兼容：真空腔直接采样，无需外泵
- < 10 s 高速响应：T90 < 10 s，适合快速氧变化
- 0.9 kg 超轻：A5 底面积，可手提移动，实验室即用
- 5 年寿命：电化学传感器，5 年免维护
- 即插即用：12 V 即插即用，5 秒完成连接
四、典型应用系统
半导体 MOCVD 氧监测┌─ MOCVD 腔体 ─┐│ │O₂← GP-200 ← 真空馈通 NW16│ │└─ 回大气 ──────┘- 真空度 ≤ 1×10⁻⁴ Pa，0-100 %Vol 实时监测
- RS-485 实时输出，PLC 闭环控制
五、实测数据（半导体验证）
- 真空：1×10⁻⁴ Pa，25 ℃
- GP-200 真空版：
- O₂ 21 %Vol（±0.1 %Vol）
- 响应时间 8 s（T90）
- 寿命 5 年（连续运行）
六、选型与配件
| 件号 | 说明 |
|---|---|
| GP-200-VAC | 真空版（≤1×10⁻⁴ Pa） |
| GP-200-AIR | 大气版（内置泵） |
| GP-200-NW16 | NW16 真空馈通套件 |
| GP-200-RS485 | RS-485 输出（标准） |
七、维护与可靠性
- 传感器：5 年寿命，免维护
- 真空馈通：每月清洁一次
相关产品
在线客服