半导体分流式精密湿度管理用发生供给装置

半导体分流式精密湿度管理用发生供给装置

半导体分流式精密湿度管理用发生供给装置

分流式 · 精密湿度 · 半导体部件 · 供给装置
0.1-98 %RH · ±0.3 %RH · 分流式 · 5 年寿命 · 即插即用

一、产品定位

• 半导体部件用：晶圆、封装、传感器、MEMS、湿度校准
• 分流式精密湿度：0.1-98 %RH，±0.3 %RH，分流式原理
• 供给装置：即插即用，5 年寿命，Class 100 兼容
• SRH 系列：SRH-2A / SRH-4A / SRH-8A（流量 2-8 L/min）

分流式 · 精密湿度 · 半导体部件 · 供给装置
0.1-98 %RH · ±0.3 %RH · 分流式 · 5 年寿命 · 即插即用

一、产品定位

• 半导体部件用：晶圆、封装、传感器、MEMS、湿度校准
• 分流式精密湿度：0.1-98 %RH，±0.3 %RH，分流式原理
• 供给装置：即插即用，5 年寿命，Class 100 兼容
• SRH 系列：SRH-2A / SRH-4A / SRH-8A（流量 2-8 L/min）

分流式 · 精密湿度 · 半导体部件 · 供给装置
0.1-98 %RH · ±0.3 %RH · 分流式 · 5 年寿命 · 即插即用

一、产品定位

• 半导体部件用：晶圆、封装、传感器、MEMS、湿度校准
• 分流式精密湿度：0.1-98 %RH，±0.3 %RH，分流式原理
• 供给装置：即插即用，5 年寿命，Class 100 兼容
• SRH 系列：SRH-2A / SRH-4A / SRH-8A（流量 2-8 L/min）

分流式 · 精密湿度 · 半导体部件 · 供给装置
0.1-98 %RH · ±0.3 %RH · 分流式 · 5 年寿命 · 即插即用

一、产品定位

• 半导体部件用：晶圆、封装、传感器、MEMS、湿度校准
• 分流式精密湿度：0.1-98 %RH，±0.3 %RH，分流式原理
• 供给装置：即插即用，5 年寿命，Class 100 兼容
• SRH 系列：SRH-2A / SRH-4A / SRH-8A（流量 2-8 L/min）

分流式 · 精密湿度 · 半导体部件 · 供给装置
0.1-98 %RH · ±0.3 %RH · 分流式 · 5 年寿命 · 即插即用

一、产品定位

• 半导体部件用：晶圆、封装、传感器、MEMS、湿度校准
• 分流式精密湿度：0.1-98 %RH，±0.3 %RH，分流式原理
• 供给装置：即插即用，5 年寿命，Class 100 兼容
• SRH 系列：SRH-2A / SRH-4A / SRH-8A（流量 2-8 L/min）

分流式 · 精密湿度 · 半导体部件 · 供给装置
0.1-98 %RH · ±0.3 %RH · 分流式 · 5 年寿命 · 即插即用

一、产品定位

• 半导体部件用：晶圆、封装、传感器、MEMS、湿度校准
• 分流式精密湿度：0.1-98 %RH，±0.3 %RH，分流式原理
• 供给装置：即插即用，5 年寿命，Class 100 兼容
• SRH 系列：SRH-2A / SRH-4A / SRH-8A（流量 2-8 L/min）