产品资料
半导体领域用标准夹紧型超声波流量计
产品名称: 半导体领域用标准夹紧型超声波流量计
产品型号: CO.65/xxxPI V2.0
产品特点: 半导体领域用标准夹紧型超声波流量计半导体行业超声波流量计 CO.65/xxxPI V2.0夹紧型 · 管用 · 半导体级 · 超声波 · 0.65-65 L/min±0.5 %RDG · 真空 ≤ 1×10⁻⁴ Pa · 重量 0.28 kg · 5 年寿命
半导体领域用标准夹紧型超声波流量计 的详细介绍
半导体领域用标准夹紧型超声波流量计
半导体领域用标准夹紧型超声波流量计
一、产品定位
- 半导体行业：单片清洗、CMP、湿法刻蚀、超纯水、化学品
- 夹紧型管用：无需切断管道，夹紧安装，真空/大气双模式
- 超声波原理：无移动部件，无颗粒生成，Class 100 兼容
- CO.65/xxxPI V2.0：0.65-65 L/min，±0.5 %RDG，真空 ≤ 1×10⁻⁴ Pa
一、产品定位
- 半导体行业：单片清洗、CMP、湿法刻蚀、超纯水、化学品
- 夹紧型管用：无需切断管道，夹紧安装，真空/大气双模式
- 超声波原理：无移动部件，无颗粒生成，Class 100 兼容
- CO.65/xxxPI V2.0：0.65-65 L/min，±0.5 %RDG，真空 ≤ 1×10⁻⁴ Pa
一、产品定位
- 半导体行业：单片清洗、CMP、湿法刻蚀、超纯水、化学品
- 夹紧型管用：无需切断管道，夹紧安装，真空/大气双模式
- 超声波原理：无移动部件，无颗粒生成，Class 100 兼容
- CO.65/xxxPI V2.0：0.65-65 L/min，±0.5 %RDG，真空 ≤ 1×10⁻⁴ Pa
一、产品定位
- 半导体行业：单片清洗、CMP、湿法刻蚀、超纯水、化学品
- 夹紧型管用：无需切断管道，夹紧安装，真空/大气双模式
- 超声波原理：无移动部件，无颗粒生成，Class 100 兼容
- CO.65/xxxPI V2.0：0.65-65 L/min，±0.5 %RDG，真空 ≤ 1×10⁻⁴ Pa
一、产品定位
- 半导体行业：单片清洗、CMP、湿法刻蚀、超纯水、化学品
- 夹紧型管用：无需切断管道，夹紧安装，真空/大气双模式
- 超声波原理：无移动部件，无颗粒生成，Class 100 兼容
- CO.65/xxxPI V2.0：0.65-65 L/min，±0.5 %RDG，真空 ≤ 1×10⁻⁴ Pa
二、核心技术参数（CO.65/xxxPI V2.0）
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 原理 | 超声波（时差法） |
| 流量范围 | 0.65 – 65 L/min（全范围） |
| 精度 | ±0.5 %RDG（0.65-65 L/min） |
| 真空度 | ≤ 1×10⁻⁴ Pa（真空版） |
| 大气版 | 可选（内置泵） |
| 响应时间 | < 0.1 s（超声波） |
| 洁净等级 | Class 100（0.3 µm ≤ 100 pc/ft³） |
| 接口 | 夹紧型 Φ6-25 mm（可转 1/4-28） |
| 电源 | DC 12 V 1 A（含 100-240 V 适配器） |
| 尺寸/重量 | 148×80×35 mm，0.28 kg |
二、核心技术参数（CO.65/xxxPI V2.0）
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 原理 | 超声波（时差法） |
| 流量范围 | 0.65 – 65 L/min（全范围） |
| 精度 | ±0.5 %RDG（0.65-65 L/min） |
| 真空度 | ≤ 1×10⁻⁴ Pa（真空版） |
| 大气版 | 可选（内置泵） |
| 响应时间 | < 0.1 s（超声波） |
| 洁净等级 | Class 100（0.3 µm ≤ 100 pc/ft³） |
| 接口 | 夹紧型 Φ6-25 mm（可转 1/4-28） |
| 电源 | DC 12 V 1 A（含 100-240 V 适配器） |
| 尺寸/重量 | 148×80×35 mm，0.28 kg |
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