产品资料
非接触半导体装置用离子体反应温度测量计
产品名称: 非接触半导体装置用离子体反应温度测量计
产品型号: Photrix
产品特点: 非接触半导体装置用离子体反应温度测量计等离子体反应温度 · 非接触 · 真空 ≤1×10⁻⁴ Pa · 0.01 °C 分辨率450-2000 °C · ±0.5 % · 5 ms 响应 · 重量 1.9 k
非接触半导体装置用离子体反应温度测量计 的详细介绍
非接触半导体装置用离子体反应温度测量计
非接触半导体装置用离子体反应温度测量计
一、产品定位
- 半导体装置专用：等离子体刻蚀、CVD、离子注入、ALD
- 等离子体反应温度：非接触，真空 ≤1×10⁻⁴ Pa，450-2000 °C
- Photrix：非接触等离子体温度，0.01 °C 分辨率，5 ms 响应
二、核心技术参数（Photrix）
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 原理 | 非接触等离子体温度（Photrix 原理） |
| 温度范围 | 450 – 2000 °C（全范围） |
| 分辨率 | 0.01 °C（0.01 °C 分辨率） |
| 精度 | ±0.5 %（450-2000 °C） |
| 响应时间 | 5 ms（非接触） |
| 真空度 | ≤ 1×10⁻⁴ Pa（真空版） |
| 大气版 | 可选（内置窗） |
| 真空接口 | NW16（可转 NW25/NW40） |
| 电源 | DC 24 V 2 A（含 100-240 V 适配器） |
| 尺寸/重量 | 200×150×45 mm，1.9 kg |
| 寿命 | 5 年（传感器） |
三、功能亮点
- 450-2000 °C 全范围：非接触等离子体温度，全范围精度 ±0.5 %
- 0.01 °C 超高分辨率：0.01 °C 分辨率，等离子体温度微变实时捕捉
- 5 ms 高速响应：非接触，5 ms 高速响应，适合快速温度变化
- ≤ 1×10⁻⁴ Pa 真空兼容：真空腔直接安装，无泄漏
- 1.9 kg 超轻：A5 底面积，可手提移动，实验室即用
- 5 年寿命：Photrix 传感器，5 年免维护
四、典型应用系统
半导体等离子体刻蚀┌─ 等离子体腔体 ─┐│ │温度← Photrix ← 真空馈通 NW16│ │└─ PLC/DCS ──────┘- 等离子体温度 1000 °C，0.01 °C 分辨率，5 ms 响应
- RS-485 实时输出，PLC 闭环控制
五、实测数据（等离子体验证）
- 等离子体：Ar/O₂，1000 °C，1×10⁻⁴ Pa
- Photrix：
- 温度 1000 °C（±0.5 %）
- 分辨率 0.01 °C（0.01 °C）
- 响应时间 5 ms（非接触）
一、产品定位
- 半导体装置专用：等离子体刻蚀、CVD、离子注入、ALD
- 等离子体反应温度：非接触，真空 ≤1×10⁻⁴ Pa，450-2000 °C
- Photrix：非接触等离子体温度，0.01 °C 分辨率，5 ms 响应
二、核心技术参数（Photrix）
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 原理 | 非接触等离子体温度（Photrix 原理） |
| 温度范围 | 450 – 2000 °C（全范围） |
| 分辨率 | 0.01 °C（0.01 °C 分辨率） |
| 精度 | ±0.5 %（450-2000 °C） |
| 响应时间 | 5 ms（非接触） |
| 真空度 | ≤ 1×10⁻⁴ Pa（真空版） |
| 大气版 | 可选（内置窗） |
| 真空接口 | NW16（可转 NW25/NW40） |
| 电源 | DC 24 V 2 A（含 100-240 V 适配器） |
| 尺寸/重量 | 200×150×45 mm，1.9 kg |
| 寿命 | 5 年（传感器） |
三、功能亮点
- 450-2000 °C 全范围：非接触等离子体温度，全范围精度 ±0.5 %
- 0.01 °C 超高分辨率：0.01 °C 分辨率，等离子体温度微变实时捕捉
- 5 ms 高速响应：非接触，5 ms 高速响应，适合快速温度变化
- ≤ 1×10⁻⁴ Pa 真空兼容：真空腔直接安装，无泄漏
- 1.9 kg 超轻：A5 底面积，可手提移动，实验室即用
- 5 年寿命：Photrix 传感器，5 年免维护
四、典型应用系统
半导体等离子体刻蚀┌─ 等离子体腔体 ─┐│ │温度← Photrix ← 真空馈通 NW16│ │└─ PLC/DCS ──────┘- 等离子体温度 1000 °C，0.01 °C 分辨率，5 ms 响应
- RS-485 实时输出，PLC 闭环控制
五、实测数据（等离子体验证）
- 等离子体：Ar/O₂，1000 °C，1×10⁻⁴ Pa
- Photrix：
- 温度 1000 °C（±0.5 %）
- 分辨率 0.01 °C（0.01 °C）
- 响应时间 5 ms（非接触）
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