桌面型洁净环境氟气体浓度监测仪装置

产品名称: 桌面型洁净环境氟气体浓度监测仪装置

产品型号: FU-100

产品特点: 桌面型洁净环境氟气体浓度监测仪装置
日本 PhotoScience FU-100 是一台“洁净环境专用"的氟气体（F₂、HF、SF₆、NF₃ 等）浓度测量装置，采用真空紫外光离子化（VUV-PID）+ 窄带滤光片轮技术，可在 ppb – ppm 范围内连续、无耗材、高选择性地监测洁净室、EUV 腔体、ALD 设备排气中的总氟量或单一氟组分，广泛用于半导体 7 nm 以下节点、OLED 蒸镀、钙钛矿

桌面型洁净环境氟气体浓度监测仪装置 的详细介绍

桌面型洁净环境氟气体浓度监测仪装置

日本 PhotoScience FU-100 是一台“洁净环境专用"的氟气体（F₂、HF、SF₆、NF₃ 等）浓度测量装置，采用真空紫外光离子化（VUV-PID）+ 窄带滤光片轮技术，可在 ppb – ppm 范围内连续、无耗材、高选择性地监测洁净室、EUV 腔体、ALD 设备排气中的总氟量或单一氟组分，广泛用于半导体 7 nm 以下节点、OLED 蒸镀、钙钛矿电池等对氟污染极度敏感的产线。

✅ 核心卖点

VUV-窄带轮：10.2 eV 真空紫外灯 + 6 位滤光片轮，F₂/HF/NF₃/SF₆ 单一选测，无耗材、无化学池
ppb 级下限：0 – 500 ppb F₂ 档，检出限 1 ppb，线性 R² > 0.999
洁净对应：全 316L EP + 金属垫片，Particle ≤ 1 pc/L (≥0.2 µm)，无死体积 < 0.1 mL
高速响应：T90 ≤ 5 s（1 L/min），可捕捉 ALD 脉冲冲洗峰值
双量程自动切换：0 – 500 ppb / 0 – 10 ppm / 0 – 100 ppm 三档，自动跳档
无零点漂移：双光束 VUV + 参考池，24 h 零点漂移 < ±1 ppb
数据完整：32 GB 内置 + OPC-UA / Modbus TCP，5 年连续存

✅ 核心卖点

VUV-窄带轮：10.2 eV 真空紫外灯 + 6 位滤光片轮，F₂/HF/NF₃/SF₆ 单一选测，无耗材、无化学池
ppb 级下限：0 – 500 ppb F₂ 档，检出限 1 ppb，线性 R² > 0.999
洁净对应：全 316L EP + 金属垫片，Particle ≤ 1 pc/L (≥0.2 µm)，无死体积 < 0.1 mL
高速响应：T90 ≤ 5 s（1 L/min），可捕捉 ALD 脉冲冲洗峰值
双量程自动切换：0 – 500 ppb / 0 – 10 ppm / 0 – 100 ppm 三档，自动跳档
无零点漂移：双光束 VUV + 参考池，24 h 零点漂移 < ±1 ppb
数据完整：32 GB 内置 + OPC-UA / Modbus TCP，5 年连续存

✅ 核心卖点

VUV-窄带轮：10.2 eV 真空紫外灯 + 6 位滤光片轮，F₂/HF/NF₃/SF₆ 单一选测，无耗材、无化学池
ppb 级下限：0 – 500 ppb F₂ 档，检出限 1 ppb，线性 R² > 0.999
洁净对应：全 316L EP + 金属垫片，Particle ≤ 1 pc/L (≥0.2 µm)，无死体积 < 0.1 mL
高速响应：T90 ≤ 5 s（1 L/min），可捕捉 ALD 脉冲冲洗峰值
双量程自动切换：0 – 500 ppb / 0 – 10 ppm / 0 – 100 ppm 三档，自动跳档
无零点漂移：双光束 VUV + 参考池，24 h 零点漂移 < ±1 ppb
数据完整：32 GB 内置 + OPC-UA / Modbus TCP，5 年连续存

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