半导体分析应用单级高压微型减压阀

半导体分析应用单级高压微型减压阀

半导体分析应用单级高压微型减压阀

1. 基本规格

• 最高输入压力：30 MPa（≈4 350 psi）
• 输出调整范围：0.05～0.35 / 0.1～0.7 / 0.2～1.6 MPa 三档弹簧可选
• 流量系数 Cv：0.08（GHSN-3）
• 阀体材质：SUS316L 全金属，电解抛光 Ra ≤ 0.25 µm
• 密封材质：PCTFE（阀针）、Viton/EPDM（O-ring）可选
• 连接口径：入口 1/4" VCR 内螺纹（面密封）
  出口 1/4" VCR 或 Rc1/4 内螺纹
• 重量：约 0.7 kg
• 使用温度：-20 ℃～+70 ℃（环境）

2. 结构特点

• 单级减压 + 平衡阀芯 → 30 MPa 一次降到位，出口波动 ≤ ±0.01 MPa
• 内部容积 1.8 mL，死区小，吹扫置换快
• 阀针带 10 µm 级过滤器，防止高压颗粒划伤密封面
• 手轮为防脱落结构，带锁紧螺母，振动环境不漂移
• 可选自泄压（Relief）型 GHSN-3R，当出口超压 15 % 自动泄放
• 可选面板安装螺母，厚度 1.5–10 mm 通用

3. 流量特性（氮气例）
   入口 30 MPa / 出口 0.7 MPa 时，最大流量约 8 Nm³/h；
   入口 15 MPa / 出口 0.2 MPa 时，约 4 Nm³/h（足够满足单台分析机台或激光混合箱消耗）
4. 选型后缀
   GHSN-3-A-35-VR
   │ │ │ │ └── VCR 接口
   │ │ │ └---- 0.05-0.35 MPa 弹簧
   │ │ └------ R = 带泄压，无记号 = 标准型
   │ └-------- A = Viton O-ring，E = EPDM
   └----------- 3 = 基本型号
5. 应用示例

• 半导体刻蚀 MIX 箱：高压 Ar/CF₄ 瓶 → GHSN-3 → 0.3 MPa 进质量流量控制器
• 实验室 GC 载气：He 瓶 20 MPa → 减压 0.6 MPa 供色谱仪
• 激光气体：高压 CO₂ 混合气一次减压到 0.8 MPa，再进二级微调阀
• 电厂仪表：高压 N₂ 瓶吹扫，一次减压 1 MPa 供母管

6. 安装与使用注意

• 入口必须配高压截止阀与过滤器（40 µm）
• 建议垂直安装（手轮向上），可减少阀芯自重引起的零漂
• 气：微开入口阀，0.5 MPa 预吹 10 s，再缓慢升至工作压力
• 长期不用：关闭瓶阀，打开出口泄放，旋钮逆时针回零，保持弹簧松弛

7. 维护与寿命

• 密封寿命：在 30 MPa/常温/N₂ 条件下，开关 10 000 次泄漏率 ≤ 1×10⁻⁸ Pa·m³/s
• 大修周期：3 年或 20 000 次，更换阀针与 O-ring，原厂提供高压清洁与再校准服务