半导体金属薄膜现场快速评价费米能级测量仪

产品名称: 半导体金属薄膜现场快速评价费米能级测量仪

产品型号: FAC-2

产品特点: 半导体金属薄膜现场快速评价费米能级测量仪
日本理研（Riken Keiki）FAC-2 是一款“大气环境中用即速费米能级测量仪"，采用开尔文（Kelvin）探针法，可在 10 秒内完成一次测量，无需抽真空，也无需精确调整探针-样品间距，适合半导体、金属薄膜、催化剂等表面费米能级（功函数）的现场快速评价。
1. 核心规格
测量方式：开尔文法（振动电容法）
能量范围：3.4–6.2 eV（以功函数 5

半导体金属薄膜现场快速评价费米能级测量仪 的详细介绍

半导体金属薄膜现场快速评价费米能级测量仪

日本理研（Riken Keiki）FAC-2 是一款“大气环境中用即速费米能级测量仪"，采用开尔文（Kelvin）探针法，可在 10 秒内完成一次测量，无需抽真空，也无需精确调整探针-样品间距，适合半导体、金属薄膜、催化剂等表面费米能级（功函数）的现场快速评价

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1. 核心规格

测量方式：开尔文法（振动电容法）
能量范围：3.4–6.2 eV（以功函数 5 eV 的金标样校准时）
重复再现性：≤ ±0.02 eV（标准偏差）
单次测量时间：≤ 10 s（金属样品典型值）
有效测试面积：φ10 mm
样品形态：块体、薄膜、粉末均可；大 30 mm × 30 mm，厚度无特殊限制
测量环境：大气（10–35 °C，≤ 60 %RH），无需真空或惰性气体保护

2. 系统构成

主机：内置振动探针、锁相放大器、能级扫描光源及控制电路
参考电极：镀金不锈钢探针，可单独更换
软件：实时显示费米能级（eV）及功函数变化曲线，可导出 CSV
数据存储：内置 1 000 组测量值，支持 USB 闪存拷贝

3. 典型应用

半导体晶圆、太阳能电池、FET 器件的表面费米能级分布测绘
金属/氧化物催化剂在反应前后的功函数变化追踪
刚成膜后金属表面随时间氧化的原位监测
材料界面接触电位差（CPD）与腐蚀电位关联研究

4. 安装与维护

供电：AC 100 V 50/60 Hz，功率约 30 W
外形/重量：235 × 330 × 408 mm（W×H×D，显微镜臂收起时），约 12 kg
年度校准：使用附带金标样进行两点校准（5.0 eV 与 4.2 eV），无需返厂
耗材：探针寿命 > 5 000 次，脏污可用无水乙醇棉签轻擦

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1. 核心规格

2. 系统构成

3. 典型应用

4. 安装与维护

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