数字式用于半导体工艺稳定气体混合装置

产品名称: 数字式用于半导体工艺稳定气体混合装置

产品型号: PMG-1A

产品特点: 数字式用于半导体工艺稳定气体混合装置
日本 Tokyokeiki（东京计机）PMG-1A 是一款高稳定性、数字式、内置型气体混合装置（Programmable Gas Mixer），可将 2–3 种高纯气体按设定比例 ±0.1 % F.S. 精度连续混合，输出流量 10–1000 mL/min，适用于半导体工艺、燃料电池测试、传感器校准、生物发酵、催化剂评价等需要长时间稳定混合气的场合

数字式用于半导体工艺稳定气体混合装置 的详细介绍

数字式用于半导体工艺稳定气体混合装置

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项目	说明
型号	PMG-1A（Programmable Mixer Gas）
用途	工艺用混合气在线配制 / 实验室标准气发生
通道数	2 或 3 路（可扩展至 5 路）
控制方式	数字式质量流量控制器（MFC）+ PID 反馈
特点	±0.1 % 混合比、内置触摸屏、RS-485 / 以太网、无脉冲**

⚙️ 核心规格

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参数	规格
混合比范围	0–100 % 任意比例（分辨率 0.01 %）
混合精度	±0.1 % F.S.（与 MFC 精度叠加）
输出流量	10–1000 mL/min（可定制 2–5 L/min）
MFC 精度	±1 % S.P.（可选 ±0.5 %）
响应时间	≤ 2 s 到达 90 % 设定值
输出压力	0–0.5 MPa（背压可调）
气体种类	N₂、Air、H₂、Ar、He、O₂、CO₂、CH₄ 等（腐蚀性选不锈钢）
接气口	1/4″ Swagelok 双卡套（可选 6 mm 快拧）
密封材质	Viton（标准），可选 PTFE、金属密封
电源·功耗	AC 100–240 V 50/60 Hz，60 W
通讯接口	RS-485 Modbus RTU、Ethernet TCP/IP（HTTP/JSON）
内置屏幕	5 寸彩色触控，实时流量、比例、趋势曲线
记录功能	8 GB 闪存，>10 年分钟数据
外形·重量	430 × 132 × 400 mm（W×H×D），8 kg
安装方式	19″ 3U 机架 / 台式 / 壁挂

🧩 控制模式

定比模式 | 设定 A/B/C 比例，自动平衡总流量。
定流模式 | 总流量固定，改变其中一路比例。
程序模式 | 16 段可编程序，支持斜坡、保持、循环（适合催化剂升温评价）。
远程模式 | Modbus TCP，PLC/工控机实时改写比例。

🎯 典型应用

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行业	混合气	用途	结果
半导体	N₂/H₂ (5 %)	退火气氛	比例波动 < 0.05 %，提升良率
燃料电池	H₂/空气 (30 %)	单电池测试	背压 0.4 MPa，稳定 200 h
传感器校准	CO₂/N₂ (0–2000 ppm)	NDIR 标定	线性相关系数 R²=0.9998
生物发酵	Air/CO₂/O₂	溶氧控制	减少钢瓶数量 70 %
催化剂	CH₄/He (10 %)	升温还原	程序升温 16 段自动切换

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项目	说明
型号	PMG-1A（Programmable Mixer Gas）
用途	工艺用混合气在线配制 / 实验室标准气发生
通道数	2 或 3 路（可扩展至 5 路）
控制方式	数字式质量流量控制器（MFC）+ PID 反馈
特点	±0.1 % 混合比、内置触摸屏、RS-485 / 以太网、无脉冲**

⚙️ 核心规格

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参数	规格
混合比范围	0–100 % 任意比例（分辨率 0.01 %）
混合精度	±0.1 % F.S.（与 MFC 精度叠加）
输出流量	10–1000 mL/min（可定制 2–5 L/min）
MFC 精度	±1 % S.P.（可选 ±0.5 %）
响应时间	≤ 2 s 到达 90 % 设定值
输出压力	0–0.5 MPa（背压可调）
气体种类	N₂、Air、H₂、Ar、He、O₂、CO₂、CH₄ 等（腐蚀性选不锈钢）
接气口	1/4″ Swagelok 双卡套（可选 6 mm 快拧）
密封材质	Viton（标准），可选 PTFE、金属密封
电源·功耗	AC 100–240 V 50/60 Hz，60 W
通讯接口	RS-485 Modbus RTU、Ethernet TCP/IP（HTTP/JSON）
内置屏幕	5 寸彩色触控，实时流量、比例、趋势曲线
记录功能	8 GB 闪存，>10 年分钟数据
外形·重量	430 × 132 × 400 mm（W×H×D），8 kg
安装方式	19″ 3U 机架 / 台式 / 壁挂

🧩 控制模式

定比模式 | 设定 A/B/C 比例，自动平衡总流量。
定流模式 | 总流量固定，改变其中一路比例。
程序模式 | 16 段可编程序，支持斜坡、保持、循环（适合催化剂升温评价）。
远程模式 | Modbus TCP，PLC/工控机实时改写比例。

🎯 典型应用

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行业	混合气	用途	结果
半导体	N₂/H₂ (5 %)	退火气氛	比例波动 < 0.05 %，提升良率
燃料电池	H₂/空气 (30 %)	单电池测试	背压 0.4 MPa，稳定 200 h
传感器校准	CO₂/N₂ (0–2000 ppm)	NDIR 标定	线性相关系数 R²=0.9998
生物发酵	Air/CO₂/O₂	溶氧控制	减少钢瓶数量 70 %
催化剂	CH₄/He (10 %)	升温还原	程序升温 16 段自动切换

日本 Tokyokeiki（东京计机）PMG-1A 是一款高稳定性、数字式、内置型气体混合装置（Programmable Gas Mixer），可将 2–3 种高纯气体按设定比例 ±0.1 % F.S. 精度连续混合，输出流量 10–1000 mL/min，适用于半导体工艺、燃料电池测试、传感器校准、生物发酵、催化剂评价等需要长时间稳定混合气的场合。日本 Tokyokeiki（东京计机）PMG-1A 是一款高稳定性、数字式、内置型气体混合装置（Programmable Gas Mixer），可将 2–3 种高纯气体按设定比例 ±0.1 % F.S. 精度连续混合，输出流量 10–1000 mL/min，适用于半导体工艺、燃料电池测试、传感器校准、生物发酵、催化剂评价等需要长时间稳定混合气的场合。

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