光切断法自动对焦高度测量显微镜
光切断法自动对焦高度测量显微镜
是日本日商精密光学株式会社推出的新型高精度测量设备,融合光切断 slit 成像与 spot 光成像技术,搭载自动对焦 AF 追踪系统,实现非接触式、高精度的深度、高度、台阶测量,为精密加工件检测提供高效解决方案。
设备通过连续追踪 AF 驱动,可重复进行高精度测量,操作简便快速。利用狭缝成像实时识别测量画面高低,轻松定位测量部位;通过校验狭缝像、斑点光像、电子基准线的中心一致性,有效防止误测,保障数据可靠性。光切断仰角除标准 90° 外,还可根据用途选择 30°、60°、120°,适配不同检测场景。
仪器采用 0.1μm 数字线性标尺读数,±1μm 以内的重复精度,可精准测量机械加工部件、成型品、薄膜、基板等的表面粗糙度、搭载部件高度位置、冲压件、模具等精密加工品,也可完成传统卤素光源显微镜无法测量的试样检测。支持自动 / 手动双模式切换,自动模式下 XY 轴移动台可快速批量测量,手动模式可作为微米级深度高度测量仪使用。
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