日本 FLOVEL 双面测量显微镜系统

Name: 日本 FLOVEL 双面测量显微镜系统TOMOS-60
Brand: 其他品牌
Price: 11111 CNY
Availability: InStock

点击看大图

产品名称: 日本 FLOVEL 双面测量显微镜系统

产品型号: TOMOS-60

产品特点: 日本 FLOVEL 双面测量显微镜系统，日本 FLOVEL TOMOS-60 是搭载 6 英寸 XY 载物台的双面位置偏移测量显微镜系统，采用双 CMOS 相机同步拍摄，150mm×150mm 大行程，±0.3μm 超高精度，可一次完成晶圆、MEMS 等半导体器件的双面位置偏移、尺寸测量，是半导体制造领域的核心检测设备。

日本 FLOVEL 双面测量显微镜系统 的详细介绍

日本 FLOVEL 双面测量显微镜系统

日本 FLOVEL TOMOS-60 是专为半导体、大尺寸精密零件打造的 6 英寸载物台双面位置偏移测量显微镜系统。产品搭载正立 + 倒立双 1/1.8 型 CMOS 相机，300 万像素成像，配备 150mm×150mm 大行程 XY 载物台，可覆盖 6 英寸晶圆、大尺寸基板的全范围检测，一次操作完成工件正反两面的位置偏移、尺寸测量，大幅提升检测效率。

系统实现 ±0.3μm 以下的重复测量精度，通过软件自动校正正反光轴，消除人工操作误差，保障测量结果的可靠性；支持 5/10/20/50 倍多倍率物镜切换，提供落射、透射、混合照明模式，满足半导体晶圆、MEMS 等不同材质、结构工件的清晰成像需求。

设备内置丰富测量功能，支持手动 / 自动尺寸测量、位置偏移检测、边缘自动提取、双面图像合成显示，直观的软件界面操作便捷，自动测量功能可消除人为误差，适合批量晶圆检测。机身采用模组化设计，可独立使用，也可嵌入自动化产线，同时可选配自动对焦单元、电动 XY 载物台，实现全流程自动化检测。

TOMOS-60 广泛应用于半导体晶圆、MEMS、水晶振子等精密元器件的双面位置偏移、尺寸检测，同时可用于大尺寸基板、电子纸等的双面同步观察，是半导体制造、精密加工领域质量管控的核心检测设备，帮助企业提升检测精度与生产效率。

产品留言

日本 FLOVEL 双面测量显微镜系统

留言框

产品：

您的单位：

您的姓名：

联系电话：

常用邮箱：

省份：

详细地址：

补充说明：

验证码：