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日本電気興業 等离子体工业电源

产品名称: 日本電気興業 等离子体工业电源
产品型号:
产品特点: 日本電気興業 等离子体工业电源
专为半导体、液晶制造开发的等离子体激励用高周波电源,覆盖 1~500kHz、0.5~100kW 功率范围,支持固定 / 宽频周波数、周波数扫描及热等离子体发生等多种类型,适配工业等离子体工艺需求。

日本電気興業 等离子体工业电源 的详细介绍
日本電気興業 等离子体工业电源
日本電気興業 等离子体工业电源
本系列电源是日本電気興业针对半导体制造、液晶面板工艺开发的专用高周波电源,解决了传统等离子体电源频率固定、适配性差的痛点,为等离子体激励、工业加热等场景提供稳定、可定制的电源方案。

核心性能与优势

  • 宽频率功率覆盖:周波数范围 1~500kHz,输出功率 0.5~100kW,可满足不同等离子体工艺、工业加热的需求。

  • 多类型电源可选:包含固定周波数型、宽带域周波数型、周波数扫描型(10~300kHz,三角波输出)、热等离子体发生用电源(400kHz/50kW),适配多种应用场景。

  • 高稳定性与可靠性:专为工业环境设计,可长时间稳定运行,支持半导体制造、液晶制造等精密工艺的等离子体激励。

  • 定制化设计服务:可根据用户需求开发研究用高周波电源及应用装置,适配特殊工艺参数与工况要求。

典型应用场景

  • 半导体制造中的等离子体激励工艺(刻蚀、沉积等)

  • 液晶面板制造中的等离子体处理设备

  • 工业等离子体加热、熔融、表面处理工艺

  • 科研开发用等离子体实验装置电源


核心规格一览

表格
项目规格说明
频率范围1~500kHz(含固定 / 宽频 / 扫描型)
输出功率0.5~100kW
电源类型逆变器型高周波电源(固定 / 宽带域 / 周波数扫描 / 热等离子体用)
周波数扫描型频率 10~300kHz,输出波形三角波,电流 60Ap-p
热等离子体用频率 400kHz,输出功率 50kW
应用领域半导体 / 液晶制造、工业等离子体工艺、科研开发


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