宽频率功率覆盖:周波数范围 1~500kHz,输出功率 0.5~100kW,可满足不同等离子体工艺、工业加热的需求。
多类型电源可选:包含固定周波数型、宽带域周波数型、周波数扫描型(10~300kHz,三角波输出)、热等离子体发生用电源(400kHz/50kW),适配多种应用场景。
高稳定性与可靠性:专为工业环境设计,可长时间稳定运行,支持半导体制造、液晶制造等精密工艺的等离子体激励。
定制化设计服务:可根据用户需求开发研究用高周波电源及应用装置,适配特殊工艺参数与工况要求。
半导体制造中的等离子体激励工艺(刻蚀、沉积等)
液晶面板制造中的等离子体处理设备
工业等离子体加热、熔融、表面处理工艺
科研开发用等离子体实验装置电源
| 项目 | 规格说明 |
|---|---|
| 频率范围 | 1~500kHz(含固定 / 宽频 / 扫描型) |
| 输出功率 | 0.5~100kW |
| 电源类型 | 逆变器型高周波电源(固定 / 宽带域 / 周波数扫描 / 热等离子体用) |
| 周波数扫描型 | 频率 10~300kHz,输出波形三角波,电流 60Ap-p |
| 热等离子体用 | 频率 400kHz,输出功率 50kW |
| 应用领域 | 半导体 / 液晶制造、工业等离子体工艺、科研开发 |
深圳市秋山贸易有限公司版权所有 地址:深圳市龙岗区龙岗街道新生社区新旺路和健云谷2栋B座1002