成像相机双选型
线阵:16384 像素,视野 81mm,走料速度 5m / 分钟
面阵:2048×2048 像素,视野 10mm,每秒 20 帧成像
照明系统:660nm 透射光源,支持波长定制切换
基础性能:水平解析 5μm / 像素,景深 Z 轴 ±10mm,无需自动对焦机构
检出下限:10μm 及以上气泡、脉纹、划痕、异物均可识别
判定功能:工件分区独立阈值设定,支持功能定制开发
一次成像分层成像,三层缺陷互不干扰
依托数字全息重建技术,单张原图分离表面脏污、背面异物、内部脉纹 / 气泡 / 裂纹图像,解决多层缺陷重叠造成漏判,精准区分埋入式内部瑕疵。
无镜头简化光路,长期运行故障率低
取消传统检测复杂光学镜头模组,整机结构精简,无尘车间连续生产维护成本更低,减少镜片磨损、对焦偏移等故障。
双相机方案兼顾量产与实验室检测
线阵机型适配透明薄膜、连续板材卷对卷高速产线;面阵机型适配镜片、滤光片、晶圆单片精密抽检,产线与研发实验室通用。
大景深无需对焦,厚薄工件通用兼容
±10mm 超大景深范围,厚薄差异大的透明工件无需调整对焦,上料即可检测,简化产线换型调试步骤。
全品类透明基材覆盖,跨行业通用
兼容光学镜片、各类滤光片、手机盖板玻璃、透明薄膜、半导体透明晶圆、棱镜等,一套设备覆盖多品类产品质检需求。
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