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日本小野测器 CL-5610 系列非接触厚度计

产品名称: 日本小野测器 CL-5610 系列非接触厚度计
产品型号:
产品特点: 日本小野测器 CL-5610 系列非接触厚度计
CL-5610 系列搭配 VE 系列电容间隙传感器,支持导体、半导体、绝缘体厚度非接触测量,最多接入 2 支传感器,兼具双通道间隙测量功能。分为内置放大器标准款与外置放大器分离款,适配台式检测与产线设备集成场景。

日本小野测器 CL-5610 系列非接触厚度计 的详细介绍
日本小野测器 CL-5610 系列非接触厚度计
日本小野测器 CL-5610 系列非接触厚度计

设备基础规格

  1. 信号输入:2 通道电容式 VE 系列传感器

  2. 测量对象:导体、半导体;选配 CL-0300 可测绝缘体

  3. 采样周期:20ms,移动平均 1~64 段可调

  4. 标配精度:±0.15% F.S;选配 CL-0200 高分辨率模块可达 ±0.12% F.S

  5. 分辨率:搭配 VE 传感器可达 0.02μm

  6. 存储能力:可保存 6 组传感器校准参数

  7. 通讯接口:RS232C,支持远程控制、数据输出;可选 6 位 BCD 并行输出

  8. 型号区分

    CL-5610:内置放大器,线缆长度 1.5m,适合桌面离线测量

    CL-5610S:外置独立放大器,线缆最长可延长至 10m,便于设备集成

核心产品特性

CL-5610 系列电容式非接触厚度计由日本小野测器研发,依托电容法实现无接触检测,不会划伤超薄薄膜、晶圆样品。一机两用,既可测量厚度,也可作为双通道间隙测试仪,实时显示厚度、间隙、偏差、极值数据。搭载高阻抗接地选配功能,针对难以充分导通的样品保障测量稳定;丰富选件拓展绝缘体测量、超高分辨率演算功能。主机具备断电参数记忆,支持外部远程启停与校准操作,测量数据可通过 RS232 上传电脑或外接打印机输出,适配实验室研发、半导体、光学薄膜、锂电池薄片来料检测与自动化产线集成。

适用生产场景

半导体薄片厚度检测,光学薄膜非接触测厚,锂电池薄膜厚度监测,玻璃基板绝缘层测量,电子零部件间隙检测,新材料薄层研发测试


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