日本 ALPS MLS 系列纯水药液增压泵

Name: 日本 ALPS MLS 系列纯水药液增压泵
Brand: 其他品牌
Price: 1116 CNY
Availability: InStock

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产品名称: 日本 ALPS MLS 系列纯水药液增压泵

产品型号:

产品特点: 日本 ALPS MLS 系列纯水药液增压泵
MLS 系列气动纯水药液泵，依靠压缩空气驱动，输出压力区间 1‑500MPa，适配纯水、IPA、NMP、光刻胶等多种介质，多型号可选，可单机或集成成套设备使用，满足半导体行业高压流体供给需求。

日本 ALPS MLS 系列纯水药液增压泵 的详细介绍

日本 ALPS MLS 系列纯水药液增压泵

设备基础规格

驱动方式：压缩空气气动驱动

输出压力范围：1MPa‑500MPa

系列划分：MLS‑A、MLS‑C、MLS‑D、MLS‑E、MLS‑2D

单冲程排量：2.35‑141.3ml/st

空气消耗量：310‑1600NL/min（0.5MPa 驱动条件）

增压倍率：4‑891 倍

适配介质：纯水、IPA、NMP、光刻胶等

结构材质：流体接触部位采用不锈钢材质

设备形式：单泵单元、可集成成套机柜式系统

核心产品特性

MLS 系列为空气驱动式增压泵，无需电源接入，依靠工厂压缩空气即可完成流体增压作业，安全适配半导体车间防爆工况。产品型号覆盖宽广压力区间，从低压 2MPa 一直延伸至 500MPa 超高压档位，不同系列对应不同增压倍率、冲程排量与耗气量，用户可根据输出压力、流量需求选型。流体过流部件选用不锈钢材质，耐多种化学溶剂腐蚀，可输送纯水、有机溶剂、光刻胶等半导体工艺常用介质。泵体结构紧凑，既可以单独作为泵单元安装接入管路，也能够集成阀门、蓄能器、压力表等组件，组装成完整机柜式供给系统。设备采用往复式增压工作模式，压力稳定，可维持管路目标压力，具备良好的压力保持能力。整机维护简便，气动驱动部件便于拆解检修，配套有管线类附件可供选配。可适配实验室小流量工况，也能够匹配产线工艺设备，为清洗、喷涂、供液工序提供稳定高压流体来源，适配严苛的半导体流体供给场景。

适用场景

半导体工厂工艺药液高压供给；晶圆清洗设备纯水增压输送；光刻胶、NMP、IPA 等有机溶剂输送；高压流体实验测试；各类化工药液增压循环；科研机构高压流体试验台配套。

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