日本 IFG IF‑BH1K68 晶圆磁性评价装置

日本 IFG IF‑BH1K68 晶圆磁性评价装置

日本 IFG IF‑BH1K68 晶圆磁性评价装置

设备基础规格

• 型号：IF‑BH1K68

• 适配晶圆：6 英寸、8 英寸，小尺寸支持定制

• 晶圆厚度：0.5‑2.0mm

• 晶圆材质：玻璃、硅胶、Altic

• 磁场配置：双轴亥姆霍兹线圈

• 偏置磁场：最大 DC250Oe / AC100Oe

• 应力施加方式：4 点支持刀刃

• 最大荷重：500N

• 可测参数：饱和磁感应强度 Bs、残留磁束密度 Br、保持力 Hc、各向异性磁场 Hk、外部磁界 Hex、磁歪定数 λ、分散 α90、△90、易轴方向

• 主体尺寸：宽 180× 深 95× 高 200cm

  
  

本款 IF‑BH1K68 晶圆磁性评价装置面向半导体晶圆磁性薄膜开发与量产检测，集成高灵敏度拾取器，可实现低至 1nm 级别薄膜样品检测，搭配四点支撑刀刃结构，能够对晶圆施加均匀应力，结合双轴线圈，完整复现薄膜实际工况下的磁学表现。整机搭载自动化机械臂机构，晶圆盒上料后，自动完成取片、定位、测量、数据保存、晶圆回盒全流程，无需人工反复介入，有效降低人为操作带来的测试误差，提升大批量晶圆检测效率。设备支持玻璃、硅基等多种基材晶圆，覆盖 6‑8 英寸主流半导体规格，小尺寸样品也可按需定制。设备可完整输出饱和磁感应强度、矫顽力、磁各向异性、磁歪等多项关键指标，适配单层磁性膜以及自旋阀膜等复杂薄膜结构，为磁性薄膜材料研发、工艺优化、来料筛选提供可靠量化数据，设备各单元模块化布局，方便现场安装调试与后期维护。

适用场景主要用于半导体磁性薄膜、自旋阀膜材料研发，晶圆工艺质量检测，磁学材料科研实验，适用于半导体企业、材料实验室、高校科研院所等场景。

深圳市秋山贸易有限公司，2017 年成立，深耕日本进口精密仪器供应链 9 年，直连日本众多原厂资源，减少中间流通环节。长期合作 ORIHARA 折原、KETT 凯特、MARKTEC 码科泰克、SIBATA 柴田科学、SUN RHEO 太阳科学、ROBOTMATION、CMT、电色工业、YEC 創朋等众多日系品牌。主营光学检测、物性试验、粉体处理、食品农产检测、理化分析，服务高校科研院所、第三方检测机构、政企单位，可提供设备选型、进口订货、原厂资料对接、售后协调的全流程配套服务。