日本 Micro‑tec ESC‑500 丝网印刷机
日本 Micro‑tec ESC‑500 丝网印刷机
设备基础规格
型号:ESC‑500
适用印刷尺寸:12inch
固定方式:内部电极静电吸盘
机构配置:双离型机构
刮刀速度:可变,支持配方调用设定
刮刀下压量:可变,支持配方调用设定
工作台吸附量:可变,支持配方调用设定
加热机构:可按需选配内置加热器,用于晶圆温控
这款 ESC‑500 丝网印刷机专为半导体晶圆加工场景开发,依靠埋设于绝缘体内部的正负电极施加电压生成静电力,以此完成晶圆工件的稳固吸附固定,规避传统夹具夹持带来的工件损伤风险。整机配备双离型机构,刮刀运行速度、刮刀下压量、工作台吸附吸力全部支持参数配方存储调用,工艺参数可快速复现,便于多批次生产切换。设备可根据实际工艺需求选配内置加热模组,实现晶圆加工过程温度管控,适配对温度敏感的印刷浆料工艺。整机采用不锈钢主体机身,防护视窗保障操作安全,设备工艺调节自由度高,既能够用于研发打样,也可适配中小批量晶圆印刷生产,保障印刷图案均匀度与位置精度,减少印刷瑕疵,为半导体相关制程提供稳定的印刷解决方案。
适用场景主要用于 12 英寸半导体晶圆相关精密丝网印刷制程,面向半导体器件研发制造企业、半导体材料实验室,可应用各类需要静电吸附固定工件的精密印刷工艺,适配多种功能浆料的印刷作业。
深圳市秋山贸易有限公司,2017 年成立,深耕日本进口精密仪器供应链 9 年,直连日本众多原厂资源,减少中间流通环节。长期合作 ORIHARA 折原、KETT 凯特、MARKTEC 码科泰克、SIBATA 柴田科学、SUN RHEO 太阳科学、ROBOTMATION、CMT、电色工业、YEC 創朋等众多日系品牌。主营光学检测、物性试验、粉体处理、食品农产检测、理化分析,服务高校科研院所、第三方检测机构、政企单位,可提供设备选型、进口订货、原厂资料对接、售后协调的全流程配套服务。
深圳市秋山贸易有限公司版权所有 地址:深圳市龙岗区龙岗街道新生社区新旺路和健云谷2栋B座1002