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日本 Micro‑tec ESC‑500 丝网印刷机

产品名称: 日本 Micro‑tec ESC‑500 丝网印刷机
产品型号:
产品特点: **日本 Micro‑tec ESC‑500 丝网印刷机**
ESC‑500 是适配 12 英寸晶圆的静电吸盘式丝网印刷机,依靠内置电极产生静电力固定工件,可按需选配加热机构,多项工艺参数支持配方设定,满足半导体晶圆精密印刷加工需求。

日本 Micro‑tec ESC‑500 丝网印刷机 的详细介绍

日本 Micro‑tec ESC‑500 丝网印刷机

日本 Micro‑tec ESC‑500 丝网印刷机

设备基础规格

  • 型号:ESC‑500

  • 适用印刷尺寸:12inch

  • 固定方式:内部电极静电吸盘

  • 机构配置:双离型机构

  • 刮刀速度:可变,支持配方调用设定

  • 刮刀下压量:可变,支持配方调用设定

  • 工作台吸附量:可变,支持配方调用设定

  • 加热机构:可按需选配内置加热器,用于晶圆温控


这款 ESC‑500 丝网印刷机专为半导体晶圆加工场景开发,依靠埋设于绝缘体内部的正负电极施加电压生成静电力,以此完成晶圆工件的稳固吸附固定,规避传统夹具夹持带来的工件损伤风险。整机配备双离型机构,刮刀运行速度、刮刀下压量、工作台吸附吸力全部支持参数配方存储调用,工艺参数可快速复现,便于多批次生产切换。设备可根据实际工艺需求选配内置加热模组,实现晶圆加工过程温度管控,适配对温度敏感的印刷浆料工艺。整机采用不锈钢主体机身,防护视窗保障操作安全,设备工艺调节自由度高,既能够用于研发打样,也可适配中小批量晶圆印刷生产,保障印刷图案均匀度与位置精度,减少印刷瑕疵,为半导体相关制程提供稳定的印刷解决方案。


适用场景主要用于 12 英寸半导体晶圆相关精密丝网印刷制程,面向半导体器件研发制造企业、半导体材料实验室,可应用各类需要静电吸附固定工件的精密印刷工艺,适配多种功能浆料的印刷作业。


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