日本松定精密 Matsusada HCU 系列高压电源

日本松定精密 Matsusada HCU 系列高压电源

日本松定精密 Matsusada HCU 系列高压电源

设备基础规格

• 输出类型：双极性高压输出

• 输出电压：±0.5kV ~ ±5kV 多档位可选

• 输出功率：2W ~ 10W

• 输出电流：1mA ~ 10mA 多规格选型

• 核心配置：内置 RF 射频滤波器、极性反转功能、强制接地功能

• 控制方式：本地面板控制、远程端子控制、RS-232C 通讯控制

• 安装形式：标准机架式安装

• 选配配件：支持 5m、7m 高压输出线缆定制

核心产品特性HCU 系列高压电源是日本松定精密针对半导体静电吸盘工况专属研发的精密供电设备，专为晶圆、玻璃基板吸附固定工艺设计，适配半导体真空制程环境。设备采用稳定的双极性输出设计，正负电压输出精准可控，多档位电压与功率规格可适配不同尺寸、不同材质基板的吸附固定需求，选型灵活广泛。设备极性反转与强制接地功能，能够实现基板平稳、均匀剥离，有效规避晶圆碎裂、偏移、静电残留等工艺问题，大幅提升半导体加工良率。机身内置专业 RF 射频滤波器，可有效屏蔽半导体产线高频设备的信号干扰，保障高压输出持续稳定，杜绝电压波动影响工艺精度。设备支持三种控制模式，本地手动调试、远程自动化联动、电脑串口通讯调控兼顾，适配人工调试与全自动产线两种作业模式。整机采用标准化机架结构，结构紧凑、安装便捷，可直接集成于半导体设备机柜内部，适配自动化产线集成需求。设备稳压精度高、响应速度快，长期连续运行稳定性强，发热量低、故障率低，能够适配半导体产线 24 小时不间断作业，是半导体静电吸盘工艺配套的核心精密电源设备。

适用场景主要应用于半导体行业静电卡盘、晶圆真空吸附固定、玻璃基板精密夹持，同时适配光学精密加工、真空工艺设备的静电吸附供电场景，广泛用于半导体制程设备、精密光电设备的配套供电作业。