日本松定精密 Matsusada HECA 系列高压电源

日本松定精密 Matsusada HECA 系列高压电源

日本松定精密 Matsusada HECA 系列高压电源

设备基础规格

• 输出模式：单极式 (2ch)、双极式兼容

• 输出电压：±1kV ~ ±10kV 多档位

• 输出功率：6W、10W、30W

• 输出电流：0.5mA‑30mA 多规格可选

• 极性反转时间：100ms（无负载）

• 可选配件：RF 射频滤波器、输出继电器、电压限制器、7m 高压电缆

• 控制方式：本地面板切换、远程触点输入控制

• 结构形式：标准机架式，无继电器结构

核心产品特性 

HECA 系列是日本松定精密专为静电吸盘工艺开发的机架式双极性高压电源，适配半导体产线静电卡盘的供电需求，设备同时兼容单极式与双极式工作模式，适配不同类型静电吸盘。设备采用放大器架构实现高速响应，无继电器设计，有效提升整机可靠性与使用寿命。关闭吸盘时通过极性反转完成晶圆、玻璃基板平滑剥离，减少基板碎裂、静电残留问题，保障吸附效果同时缩短生产周期。支持本地与远程两种极性切换方式，各通道可独立控制，适配自动化产线联动。可选配不同频率 RF 射频滤波器，隔离半导体设备射频干扰，保障输出电压稳定。同时可选输出继电器、电压限制器、高压线缆等配件，满足不同设备集成需求。整机为标准机架结构，便于机柜内部安装集成，电压档位覆盖 ±1kV 至 ±10kV，多功率电流规格，选型覆盖多种尺寸基板的吸附工艺，可长期稳定运行于真空半导体工艺环境。

适用场景 

用于半导体静电卡盘供电，实现晶圆、玻璃基板真空吸附与剥离，适配各类真空工艺设备，广泛应用于半导体制造、光电面板加工等领域。