日本松定精密Matsusada HMEC 系列高压电源

日本松定精密Matsusada HMEC 系列高压电源

日本松定精密Matsusada HMEC 系列高压电源

设备基础规格

• 输出通道：单通道双极性输出

• 输出电压：0~±1kV 至 0~±10kV 多型号可选

• 输出功率：10W

• 控制方式：外部信号控制输出电压、极性切换

• 监测功能：自带输出电压、电流监测

• 结构形式：小型嵌入式模块化，带安装固定孔位

• 可选配件：1m、3m、5m 长度输出高压电缆

• 供电输入：DC 输入，适配设备内部集成

核心产品特性HMEC 系列为日本松定精密面向静电吸盘开发的嵌入式反向高压电源，小型轻量化模块化结构，带安装孔位，方便直接嵌入整机设备内部。依靠外部信号完成输出电压调节与极性切换，实现晶圆、玻璃基板平滑剥离，保障吸附稳定同时缩短工艺周期。可适配库仑力、拉贝克力两种静电吸盘。设备集成电压电流监测功能，便于上位机读取状态，方便设备闭环控制。可按需选配 1 米、3 米、5 米高压输出电缆，适配不同机箱布局，适配半导体设备集成开发。

HMEC 系列小型嵌入式极性反转高压电源，专为静电吸盘开发，输出 ±1kV~±10kV，功率 10W。模块化轻量化结构，外部信号控制极性切换，自带电压电流监测，可选配不同长度高压电缆。

适用场景半导体设备静电吸盘供电，用于晶圆、玻璃基板的吸附与剥离，适配刻蚀、镀膜等等离子工艺设备内部集成使用。