日本松定精密Matsusada HJC 系列高压电源

日本松定精密Matsusada HJC 系列高压电源

日本松定精密Matsusada HJC 系列高压电源

设备基础规格

• 输出通道：单通道双极性输出

• 输出电压：±1kV 至 ±5kV 多型号可选

• 输出功率：6W、30W 两档

• 极性反转时间：100ms（无负载）

• 安装方式：半机架式

• 控制方式：本地拨动开关、远程触点输入

• 可选配件：保护盖、射频滤波器、输出继电器、7 米高压电缆

• 供电输入：AC100‑240V 单相

核心产品特性HJC 系列为日本松定精密专为静电吸盘研发的半机架双极性高压电源，紧凑型半机架结构，有效节省机柜内部安装空间。设备内部摒弃传统继电器结构，提升整机可靠性与使用寿命，依托放大器架构实现高速响应，无负载条件下极性反转仅需 100ms。设备可适配库仑力、拉贝克力两种静电吸盘，工作时通过通断控制基板吸附，关闭输出时反转极性，让晶圆、玻璃基板平稳脱离卡盘，缩短工艺循环周期。支持本地面板切换极性，也支持远程触点信号控制，适配设备集成自动化需求。可按需选配射频滤波器，抵御等离子工艺射频干扰，也可选保护盖、输出继电器、7 米高压线缆，适配不同设备布局，同时支持定制单极输出版本。

适用场景用于半导体设备静电吸盘供电，适配晶圆、玻璃基板吸附剥离工艺，广泛应用于刻蚀、镀膜等各类等离子半导体工艺设备。