日本 PILLAR HEN 系列氟树脂制热交换器

日本 PILLAR HEN 系列氟树脂制热交换器日本 PILLAR HEN 系列氟树脂制热交换器

设备基础规格

• 产品型式：HEN 系列，管状设备类型

• 主体材质：PFA、PTFE 全氟树脂

• 有效换热面积：0.05M2

• 最大药液流量：100ML/min

• 最高药液冷却前温度：200℃

• 连接接口：Super 300 柱形接头

• 核心产品特性整机采用全氟树脂一体结构设计，不含任何金属零件与 O 型密封圈，实现无金属污染的洁净管路系统，能够在强腐蚀性流体与腐蚀环境中稳定开展热交换作业。采用接头搭配盘管的紧凑化结构，体积小巧，可直接嵌入狭小的管道内部，无需占用大量设备安装空间，助力产线节省安装位置。换热性能稳定，针对水、浓硫酸等不同粘度药液均可实现可靠温控，换热效率随药液流量提升平稳增加。设备拆装维护便捷，管路接口适配半导体行业标准接头，拆装时不易产生颗粒污染。全氟树脂材质耐强酸强碱，耐温性能优异，可承受最高 200℃的药液输入，长期运行不易被腐蚀老化，保障半导体制程药液温度稳定可控，降低杂质污染风险，适配高精度洁净产线的连续生产需求。

• 适用场景主要应用于半导体制造设备，用于对洁净度、耐化学腐蚀性能要求较高的工艺管路。可对各类腐蚀性药液进行冷却、温度调节，广泛用于晶圆清洗、刻蚀等半导体湿法工艺，同时也可用于化工实验室、精细化工中强腐蚀流体的换热控温工序。