美国 Malema LFC-7000 超声波流量控制器

美国 Malema LFC-7000 超声波流量控制器

美国 Malema LFC-7000 超声波流量控制器

设备基础规格

• 流量范围：5 至 12000 mL/min，多档满量程可选

• 准确度：设定值 ±1% 或 ±3mL/min，取较大值

• 重复性：设定值 ±1% 或 ±1mL/min，取较大值

• 响应时间：小于 3 秒

• 电源输入：24Vdc ±10%，最大 0.5A

• 信号：0-10Vdc 或 4-20mA

• 流体温度：10-60℃

• 环境条件：0-40℃，湿度 30-80% RH 无露点

• 接口规格：1/4 英寸、3/8 英寸、1/2 英寸可选，扩口 / 柱形连接

• 防护等级：IP65

• 过流材质：PFA、PTFE 固化硅胶，湿件为聚四氟乙烯、全氟乙丙烯

核心产品特性LFC-7000 将超声波流量计与控制阀一体化设计，无运动部件，减少机件磨损，延长设备运行时长。过流全部采用 PTFE、PFA 耐腐蚀材质，适配超高纯去离子水、各类化学品与研磨浆料，满足半导体高洁净工艺要求。设备搭载 DSP 数字信号处理技术，流体内含气泡时依旧保持稳定测量，消除温度、环境波动带来的传感器漂移问题，相比差压式流量控制器抗干扰能力更强。配置电机驱动夹紧阀或隔膜阀，阀门响应迅速，流量过冲量小，控制重复性优异。自带集成显示屏，实时展示流量分配数据，方便现场读取监控。流量调节比可达 20:1，支持宽区间流量调控，输入输出模拟信号可对接自动化控制系统，适配现有产线集成安装。支持水平、垂直两种安装方式，端口规格选择丰富，死体积小，保障流体工艺纯度，可长期稳定运行于严苛的半导体湿法工艺环境，提升晶圆加工良率，降低停机维护频次。

适用场景主要应用于半导体制造领域，适配湿法清洗设备、CMP 化学机械抛光后清洗工序，用于超高纯化学品、研磨浆料、去离子水的精密流量分配与计量控制。可在芯片制造洁净车间内实现液体流量闭环管控，也可应用于精细化工、特种电子材料生产，对腐蚀性高纯药液输送做精准流量调节，保障流体输送工艺一致性。