半导体制造高精度薄膜涂层用旋转涂布机
高精度・高速旋转(MAX12000rpm)的旋转喷嘴
・标配带联锁传感器的安全盖。
・安全盖上有滴落用孔(带滑动盖),即使在旋转过程中也能滴落。
・多段式,10个步骤・100种模式,搭载程序存储器
・支持使用各种溶液的开发和评估
・也可以支持杯型特氟龙涂层和自动滴落等选项。
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