半导体工业用紧凑型空冷干式真空泵

半导体工业用紧凑型空冷干式真空泵半导体工业用紧凑型空冷干式真空泵

三、功能亮点

1. 3.3 Pa 空冷极限：比同级水环泵极限低 100 倍，适合 MOCVD 前级
2. 16 kg 超轻：比同级水冷泵轻 50 %，可手提移动
3. 离子镀硬铬螺杆：耐粉尘、耐冷凝液，寿命 20,000 h
4. 可拆式粉尘阱：5 µm 颗粒在线捕集，30 s 清理
5. 磁耦合零泄漏：Class 100 洁净室兼容，无油污染
6. 54 dB 静音：比水冷泵低 12 dB，24 h 运行不扰人

四、典型应用系统

MOCVD 前级真空┌─ MOCVD 腔体 ─┐│               │进口← KTS-60 ← 粉尘过滤器（可选）│               │└─ 回大气 ─────┘

• 泵进口接 MOCVD 腔体，3.3 Pa 极限，抽气时间缩短 30 %
• 粉尘过滤器捕集 GaN 微粒，延长泵寿命

五、实测数据（MOCVD 验证）

• MOCVD 腔体 100 L，室温 25 ℃
• KTS-60 50 Hz 运行：
• 2 min 达到 20 Pa
• 5 min 极限 3.3 Pa
• 连续 8 h 外壳 <45 ℃，无冷却水
• 噪声 54 dB（比冰箱低）

六、选型与配件

七、维护与可靠性

• 螺杆：离子镀硬铬+DLC，寿命 20,000 h，免维护
• 粉尘阱：每月清理一次
• 磁耦合：无磨损，年漂移 < 0.5 %
• 整机 2 年质保，10 年配件保障

八、结论

三、功能亮点

1. 3.3 Pa 空冷极限：比同级水环泵极限低 100 倍，适合 MOCVD 前级
2. 16 kg 超轻：比同级水冷泵轻 50 %，可手提移动
3. 离子镀硬铬螺杆：耐粉尘、耐冷凝液，寿命 20,000 h
4. 可拆式粉尘阱：5 µm 颗粒在线捕集，30 s 清理
5. 磁耦合零泄漏：Class 100 洁净室兼容，无油污染
6. 54 dB 静音：比水冷泵低 12 dB，24 h 运行不扰人

四、典型应用系统

MOCVD 前级真空┌─ MOCVD 腔体 ─┐│               │进口← KTS-60 ← 粉尘过滤器（可选）│               │└─ 回大气 ─────┘

• 泵进口接 MOCVD 腔体，3.3 Pa 极限，抽气时间缩短 30 %
• 粉尘过滤器捕集 GaN 微粒，延长泵寿命

五、实测数据（MOCVD 验证）

• MOCVD 腔体 100 L，室温 25 ℃
• KTS-60 50 Hz 运行：
• 2 min 达到 20 Pa
• 5 min 极限 3.3 Pa
• 连续 8 h 外壳 <45 ℃，无冷却水
• 噪声 54 dB（比冰箱低）

六、选型与配件

七、维护与可靠性

• 螺杆：离子镀硬铬+DLC，寿命 20,000 h，免维护
• 粉尘阱：每月清理一次
• 磁耦合：无磨损，年漂移 < 0.5 %
• 整机 2 年质保，10 年配件保障

八、结论