产品资料
超高真空切换高清洁型高精度大气门阀
产品名称: 超高真空切换高清洁型高精度大气门阀
产品型号:
产品特点: 超高真空切换高清洁型高精度大气门阀高清洁 · 大气门阀 · PVD/CVD/ALD/PECVD · 刻蚀 · 真空 ≤1×10⁻⁴ Pa0-180 °C · ±0.1 mm · 真空 ≤1×10⁻⁴ Pa · 重量 2.1 kg · 5 年寿命
超高真空切换高清洁型高精度大气门阀 的详细介绍
超高真空切换高清洁型高精度大气门阀
超高真空切换高清洁型高精度大气门阀高清洁 · 大气门阀 · PVD/CVD/ALD/PECVD · 刻蚀 · 真空 ≤1×10⁻⁴ Pa
0-180 °C · ±0.1 mm · 真空 ≤1×10⁻⁴ Pa · 重量 2.1 kg · 5 年寿命
一、产品定位
- 高清洁型：Class 100，无油、无颗粒，PVD/CVD/ALD/PECVD 兼容
- 大气门阀：大气 ↔ 真空切换，刻蚀、沉积、离子注入
- PVD/CVD/ALD/PECVD/刻蚀：真空 ≤1×10⁻⁴ Pa，0-180 °C，±0.1 mm
- VTEX 系列：0-180 °C，±0.1 mm，真空 ≤1×10⁻⁴ Pa，5 年寿命
二、核心技术参数（VTEX 系列）
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 类型 | 高清洁型大气门阀 |
| 真空度 | ≤ 1×10⁻⁴ Pa（全范围） |
| 温度范围 | 0 – 180 °C（全范围） |
| 位置精度 | ±0.1 mm（闭环控制） |
| 洁净等级 | Class 100（0.3 µm ≤ 100 pc/ft³） |
| 接触材料 | 316L + PTFE + 蓝宝石（密封） |
| 真空接口 | NW16（可转 NW25/NW40） |
| 电源 | DC 24 V 2 A（含 100-240 V 适配器） |
| 尺寸/重量 | 200×150×45 mm，2.1 kg |
| 寿命 | 5 年（连续运行） |
三、功能亮点
- ≤ 1×10⁻⁴ Pa 超高真空：全范围真空兼容，PVD/CVD/ALD/PECVD 兼容
- 0-180 °C 全温度：0-180 °C 全温度，PVD/CVD/ALD/PECVD 兼容
- ±0.1 mm 高精度：闭环控制，±0.1 mm 高精度，晶圆级精度
- Class 100 高清洁：0.3 µm ≤ 100 pc/ft³，Class 100 高清洁
- 2.1 kg 超轻：A5 底面积，可手提移动，实验室即用
- 5 年寿命：高清洁密封，5 年免维护
四、典型应用系统
半导体 PVD/CVD/ALD/PECVD┌─ 真空腔体 ─┐│ │阀← VTEX ← 真空馈通 NW16│ │└─ 回大气 ────┘- 真空度 ≤ 1×10⁻⁴ Pa，0-180 °C，±0.1 mm 精度
- RS-485 实时输出，PLC 闭环控制
五、实测数据（PVD/CVD/PECVD 验证）
- 真空：1×10⁻⁴ Pa，25 ℃
- VTEX：
- 真空度 ≤ 1×10⁻⁴ Pa（全范围）
- 温度 180 °C（±0.1 mm）
- 寿命 5 年（连续运行）
六、选型与配件
| 件号 | 说明 |
|---|---|
| VTEX-16 | NW16 标准型 |
| VTEX-25 | NW25 大口径型 |
| VTEX-RS485 | RS-485 输出（标准） |
| VTEX-HEATER | 180 °C 加热套件（可选） |
七、维护与可靠性
- 密封：5 年寿命，免维护
- 真空馈通：每月清洁一次
- 电源：年漂移 < 0.1 %，无需校准
- 整机 2 年质保，10 年配件保障
八、结论
VTEX 高清洁型大气门阀以「≤1×10⁻⁴ Pa 超高真空 + 0-180 °C 全温度 + ±0.1 mm 高精度 + Class 100 高清洁」四合一设计，让半导体 PVD/CVD/ALD/PECVD/刻蚀获得「高清洁、高精度、长寿命」大气门阀，是大气门阀的「半导体标准机」
相关产品
在线客服