产品资料
高精度高速晶圆搬运磁场测量特斯拉计磁强计
产品名称: 高精度高速晶圆搬运磁场测量特斯拉计磁强计
产品型号: F71
产品特点: 高精度高速晶圆搬运磁场测量特斯拉计磁强计半导体制造应用 · 台式 · 高斯/特斯拉 · 非接触磁场0.1 mG – 35 T · 0.01 % 精度 · 1 MHz 采样 · 重量 2.1 kg · 5 年寿命
高精度高速晶圆搬运磁场测量特斯拉计磁强计 的详细介绍
高精度高速晶圆搬运磁场测量特斯拉计磁强计
高精度高速晶圆搬运磁场测量特斯拉计磁强计
半导体制造应用 · 台式 · 高斯/特斯拉 · 非接触磁场
0.1 mG – 35 T · 0.01 % 精度 · 1 MHz 采样 · 重量 2.1 kg · 5 年寿命
一、产品定位
- 半导体制造应用：离子注入、MOCVD、磁控溅射、磁夹具、晶圆搬运
- 台式高斯计/特斯拉计：非接触磁场测量，0.1 mG – 35 T，台式 2.1 kg
- F71 系列：0.1 mG – 35 T，0.01 % 精度，1 MHz 采样，5 年寿命
半导体制造应用 · 台式 · 高斯/特斯拉 · 非接触磁场
0.1 mG – 35 T · 0.01 % 精度 · 1 MHz 采样 · 重量 2.1 kg · 5 年寿命
一、产品定位
- 半导体制造应用：离子注入、MOCVD、磁控溅射、磁夹具、晶圆搬运
- 台式高斯计/特斯拉计：非接触磁场测量，0.1 mG – 35 T，台式 2.1 kg
- F71 系列：0.1 mG – 35 T，0.01 % 精度，1 MHz 采样，5 年寿命
二、核心技术参数（F71）
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 测量范围 | 0.1 mG – 35 T（全范围） |
| 精度 | 0.01 %（0.01 % RDG） |
| 分辨率 | 0.1 mG（0.1 mG，16 bit） |
| 采样率 | 1 MHz（1 MHz，实时） |
| 频率范围 | DC – 50 kHz（AC 磁场） |
| 温度系数 | < 10 ppm/°C（-10 – 60 ℃） |
| 探头接口 | BNC + USB + RS-485（实时） |
| 真空兼容 | ≤ 1×10⁻⁴ Pa（真空版探头） |
| 电源 | DC 24 V 2 A（含 100-240 V 适配器） |
| 尺寸/重量 | 200×150×45 mm，2.1 kg |
| 寿命 | 5 年（探头 + 主机） |
三、功能亮点
- 0.1 mG – 35 T 全范围：从地球磁场到 35 T 全范围，半导体磁场全覆盖
- 0.01 % 超高精度：0.01 % RDG，磁场重复性 ≤ 0.01 mG
- 1 MHz 高速采样：1 MHz 实时采样，适合快速磁场变化
- ≤ 1×10⁻⁴ Pa 真空兼容：真空腔直接安装，无泄漏
- 2.1 kg 超轻：A5 底面积，可手提移动，实验室即用
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