真空环境测量用氧化锆式氧气浓度计
真空环境测量用氧化锆式氧气浓度计
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氧化锆传感器与超薄转换器分离，可直接插入真空腔，无需采样泵
测量范围 10 ppm–100 %O₂，响应 T₉₀＜1 s
标配 EtherCAT 接口，适合嵌入半导体真空镀膜、刻蚀等高速产线
氧化锆传感器与超薄转换器分离，可直接插入真空腔，无需采样泵
测量范围 10 ppm–100 %O₂，响应 T₉₀＜1 s
标配 EtherCAT 接口，适合嵌入半导体真空镀膜、刻蚀等高速产线
氧化锆传感器与超薄转换器分离，可直接插入真空腔，无需采样泵
测量范围 10 ppm–100 %O₂，响应 T₉₀＜1 s
标配 EtherCAT 接口，适合嵌入半导体真空镀膜、刻蚀等高速产线
氧化锆传感器与超薄转换器分离，可直接插入真空腔，无需采样泵
测量范围 10 ppm–100 %O₂，响应 T₉₀＜1 s
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氧化锆传感器与超薄转换器分离，可直接插入真空腔，无需采样泵
测量范围 10 ppm–100 %O₂，响应 T₉₀＜1 s
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氧化锆传感器与超薄转换器分离，可直接插入真空腔，无需采样泵
测量范围 10 ppm–100 %O₂，响应 T₉₀＜1 s
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测量范围 10 ppm–100 %O₂，响应 T₉₀＜1 s
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测量范围 10 ppm–100 %O₂，响应 T₉₀＜1 s
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