日本 AD-TEC 高周波射频电源

Name: 日本 AD-TEC 高周波射频电源TX 系列
Brand: 其他品牌
Price: 8888 CNY
Availability: InStock

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产品名称: 日本 AD-TEC 高周波射频电源

产品型号: TX 系列

产品特点: 日本 AD-TEC 高周波射频电源
AD-TEC TX 系列高周波射频电源，是专为等离子工艺设计的紧凑型 RF 电源，搭载耐反射 AB 级线性增幅器，支持多频率、多功率段配置，具备脉冲、变频及电弧抑制功能，广泛应用于半导体、真空镀膜等领域。

日本 AD-TEC 高周波射频电源 的详细介绍

日本 AD-TEC 高周波射频电源

AD-TEC TX 系列高周波射频电源，是日本 AD-TEC 针对等离子工艺设备开发的新一代紧凑型 RF 电源，通过优化电路设计与结构布局，实现了小型化、高稳定性与高性价比的平衡，成为半导体晶圆处理、真空镀膜、等离子清洗等工艺的理想供电方案。

这款电源的核心优势在于其搭载的耐反射 AB 级线性增幅器，可在负载剧烈变化的工况下保持稳定输出，减少反射功率对设备的影响，提升工艺一致性。相比传统机型，它的体积和重量大幅缩减，宽度和重量仅为旧型的 1/2 以下，采用半机柜型设计，便于集成到紧凑型设备中，同时降低了设备安装与维护的成本。

TX 系列支持12.5MHz、13.56MHz、27.12MHz等主流工业射频频率，额定功率覆盖 300W~5000W，可根据工艺需求灵活选择配置；AC 电源支持单相 / 三相 AC200-240V 输入，适配不同工业场景的供电条件；冷却方式采用风冷（低功率段）或风冷 + 水冷（高功率段）组合，确保设备在长时间高负载运行下的稳定性。设备可选配脉冲功能、可变频率（VF）功能及电弧抑制功能，可满足不同工艺对波形、频率和负载控制的需求，例如脉冲功能可实现等离子工艺的精细化控制，电弧抑制功能则能有效减少工艺过程中的打火现象，保护工件与设备。

作为 AD-TEC 的经典系列之一，TX 系列射频电源以其高可靠性、紧凑设计与灵活配置，广泛应用于半导体制造、LED 生产、光学镀膜、材料表面处理等领域，为等离子工艺提供稳定、高效的能量支持。

核心规格与配置

表格

项目	说明
适用频率	12.5MHz、13.56MHz、27.12MHz
额定功率	300W、600W、1000W、2000W、3000W、5000W
AC 电源输入	单相 AC200-240V（低功率）；三相 AC200-240V（高功率）
冷却方式	风冷（300/600/1000W）；风冷 + 水冷（2000/3000/5000W）
核心配置	耐反射 AB 级线性增幅器
可选功能	脉冲功能、可变频率（VF）功能、电弧抑制功能
尺寸重量	宽度 215~430mm，重量 7~45kg（根据功率段不同）

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