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日本 AD-TEC 高周波射频电源

产品名称: 日本 AD-TEC 高周波射频电源
产品型号: TXR/TXL/TXM/TXH 系列
产品特点: 日本 AD-TEC 高周波射频电源
AD-TEC TXR/TXL/TXM/TXH 系列高周波射频电源，是专为等离子工艺设计的高性能 RF 电源，搭载高速 CPU 与新型通讯接口，支持多频率、多功率段配置，可选脉冲、变频及电弧抑制功能，适配半导体、真空镀膜等工艺需求。

日本 AD-TEC 高周波射频电源 的详细介绍
日本 AD-TEC 高周波射频电源
日本 AD-TEC 高周波射频电源
AD-TEC TXR/TXL/TXM/TXH 系列高周波射频电源，是日本 AD-TEC 针对等离子工艺设备开发的新一代高性能 RF 电源，通过搭载最新 CPU 与高速响应架构，实现了比传统机型更优的控制精度与通讯兼容性，为半导体晶圆处理、先进镀膜工艺等场景提供稳定、高效的能量支持。
该系列电源的核心优势在于其高速 CPU 架构与新型通讯支持，可兼容 EtherCAT 等工业以太网通讯方式，实现与自动化产线的无缝集成；配合全数字化控制，大幅提升了功率响应速度与输出稳定性，减少工艺波动对产品质量的影响。设备可选配脉冲功能、可变频率（VF）功能及电弧抑制功能，可满足不同工艺对波形、频率和负载控制的精细化需求，例如脉冲功能可实现等离子工艺的阶梯式能量输出，电弧抑制功能则能有效减少工艺过程中的打火现象，保护工件与设备。
系列内各型号覆盖了宽频率与功率范围：TXR 系列支持 13.56MHz/27.12MHz，功率 300W~10000W；TXL 系列支持 400kHz，功率 500W~1000W；TXM 系列支持 2MHz，功率 2500W~5000W；TXH 系列（图中未完整展示）则针对更工艺场景设计。设备采用紧凑型机柜设计，低功率段仅需风冷散热，高功率段采用风冷 + 水冷组合，确保长时间高负载运行下的稳定性，同时降低设备维护成本。
作为 AD-TEC 的系列，该电源广泛应用于半导体制造、LED 生产、光学镀膜、材料表面处理等领域，凭借其高可靠性、灵活配置与先进的通讯功能，成为先进等离子工艺设备的理想供电方案。

核心规格与配置

表格
系列适用频率额定功率冷却方式关键特性
TXR 系列13.56MHz、27.12MHz300W、600W、1000W、3000W、10000W风冷（低功率）；风冷 + 水冷（高功率）高速 CPU、EtherCAT 通讯支持
TXL 系列400kHz500W、1000W风冷低频等离子工艺专用
TXM 系列2MHz2500W、5000W风冷 + 水冷中高频工艺优化
TXH 系列高频段（如 13.56MHz）高功率段风冷 + 水冷


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