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日本 AD-TEC 自动阻抗匹配装置
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产品名称:
日本 AD-TEC 自动阻抗匹配装置
产品型号:
AMVG 系列
产品特点:
日本 AD-TEC 自动阻抗匹配装置AD-TEC AMVG 系列自动阻抗匹配装置,是专为等离子工艺设备设计的 RF 电源配套设备,支持 380kHz~40.68MHz 宽频率范围,可实现高速自动匹配,搭配 AMV 软件实现可视化阻抗控制,广泛应用于半导体、真空镀膜等领域。
日本 AD-TEC 自动阻抗匹配装置
的详细介绍
日本 AD-TEC 自动阻抗匹配装置
日本 AD-TEC 自动阻抗匹配装置
AD-TEC AMVG 系列自动阻抗匹配装置,是日本 AD-TEC 针对等离子工艺设备开发的高性能 RF 阻抗匹配方案,通过高速自动匹配技术与可视化控制软件,解决了传统匹配器在复杂负载变化下的响应滞后问题,为等离子工艺的稳定运行提供关键保障。
该装置的核心优势在于
高速自动匹配能力
,可快速响应等离子负载的变化,实现电源与负载间的阻抗匹配,减少反射功率,提升 RF 电源的能量传输效率;搭配专用 AMV 软件,用户可通过电脑进行设备操作、测量与阻抗监控,支持史密斯圆图显示、匹配网络可视化与功率追踪,便于工艺参数调试与故障诊断。设备内置 LC 网络标准库,可快速调用预设参数,同时支持根据客户需求定制接口、外观尺寸与匹配范围,适配不同设备的集成需求。
装置支持
380kHz~40.68MHz
宽频率范围,最大通过功率覆盖 300W~30kW,适配 AD-TEC 全系 RF 电源;供电支持单相 AC100-200V(50-60Hz)或 DC24V 输入,冷却方式为风冷,可在工业现场环境中稳定运行;可选配件包括遥控器、可安装式遥控器、供电电源及 VDC/Vpp 传感器,便于设备操作与状态监测。
作为等离子工艺设备的关键配套装置,AMVG 系列自动阻抗匹配器广泛应用于半导体制造、LED 生产、光学镀膜、材料表面处理等领域,凭借其高速匹配、可视化控制与灵活适配性,成为先进等离子工艺设备的理想配套方案。
核心规格与配置
表格
项目
说明
支持频率范围
380kHz~40.68MHz
最大通过功率
300W~30kW
供电方式
单相 AC100-200V(50-60Hz);DC24V
核心功能
高速自动匹配、AMV 软件可视化控制、LC 网络标准库
可选配件
遥控器(AMVG-RCH1)、可安装式遥控器(AMVG-RCM1)、供电电源(AMVG-PS102)、VDC/Vpp 传感器
冷却方式
风冷
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