日本 AD-TEC 微波电源系列

Name: 日本 AD-TEC 微波电源系列
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产品名称: 日本 AD-TEC 微波电源系列

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产品特点: 日本 AD-TEC 微波电源系列
AD-TEC 微波电源系列，是专为等离子处理系统设计的工业级微波供电方案，采用轻量化高压电源与低漂移磁控管，内置隔离器并支持 RS485 等数字通信，输出功率最高达 3000W，适配半导体、真空镀膜等工艺场景。

日本 AD-TEC 微波电源系列 的详细介绍

日本 AD-TEC 微波电源系列

AD-TEC 微波电源系列，是日本 AD-TEC 针对等离子工艺设备开发的高性能微波供电系统，通过轻量化设计、低漂移磁控管与一体化隔离器，解决了传统微波电源在稳定性、散热与集成性上的痛点，为先进等离子处理工艺提供可靠的能量支持。

该系列电源采用模块化设计，包含高压电源主机、振动器（磁控管）与隔离器，实现 “振动器 + 隔离器一体化" 结构，减少了系统集成的复杂度与故障率；高压电源与振动器均经过轻量化优化，便于设备安装与维护。核心部件采用低漂移性磁控管，确保微波输出的稳定性，减少工艺过程中的功率波动；内置隔离器可有效吸收反射功率，保护磁控管不受负载变化的影响，延长设备使用寿命。

系统标配 RS485 通信接口，支持设备与微波电源的集中控制，同时可扩展其他数字通信方式，适配自动化产线的集成需求；采用水冷冷却方式，不受高压电源及振动部的散热影响，可在宽范围环境中稳定运行，适配工业现场的严苛工况。电源输出功率范围为 300W~3000W，输出直线精度控制在设置功率的 ±3% 以内，输出稳定性在电源电压 ±10% 变动时保持 ±1% 以内，输出纹波低于 5% p-p，满足高精度等离子工艺对能量控制的要求。

作为 AD-TEC 的核心微波电源产品，该系列广泛应用于半导体制造、LED 生产、光学镀膜、材料表面处理等领域，凭借其高可靠性、低漂移特性与灵活的通信适配性，成为先进等离子工艺设备的理想供电方案。

核心规格与配置

表格

项目	说明
AC 电源输入	三相 AC200V±10% 50/60Hz（20A 以内）
最大输出功率	3000W
输出功率范围	300W~3000W（注：输出 600W 以内时，因磁控管特性，不保证输出直线精度）
输出直线精度	设置功率的 ±3% 以内
输出稳定性	电源电压 ±10% 变动时，输出变化 ±1% 以内
输出纹波	5% p-p 以下
冷却方式	水冷
通信接口	标配 RS485，可扩展其他数字通信
核心配置	低漂移磁控管、内置隔离器（振动器 + 隔离器一体型）
外观尺寸（电源主机）	W480×H221.5×D631mm
重量	约 30kg

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