日本 ARIOS RF 电源

Name: 日本 ARIOS RF 电源RP 系列
Brand: 其他品牌
Price: 1113 CNY
Availability: InStock

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产品名称: 日本 ARIOS RF 电源

产品型号: RP 系列

产品特点: 日本 ARIOS RF 电源
ARIOS RP 系列是固态型高性能高周波电源，覆盖 150W~1kW 功率段，与自动匹配盒组合后，适配 RF 溅射、等离子体 CVD 等工艺，支持从实验手动型到自动化控制的等离子体源。

日本 ARIOS RF 电源 的详细介绍

日本 ARIOS RF 电源

ARIOS RP 系列是日本 ARIOS 针对等离子工艺设备开发的固态型高周波电源，以全固态设计实现了高稳定性与高可靠性，成为 RF 溅射、等离子体 CVD 等工艺的理想供电方案。

该系列电源的核心优势在于全固态架构，配合强力风扇强制空冷，实现了高电力长时间稳定运行；支持线性输出控制与高许容反射电源，减少负载变化对设备的影响，提升工艺一致性。设备采用紧凑轻量设计，便于安装与维护，同时支持远程输出控制，适配自动化产线的集成需求。搭配专用 M-BOX 自动匹配盒，可实现高速自动整合与广范围阻抗对应，进一步优化电源与负载间的能量传输效率，减少反射功率损耗。

系列内型号覆盖不同功率需求：RP-151（150W）、RP-301（300W）、RP-502（500W）、RP-1K02（1kW），均支持 13.56MHz±1kHz 标准工业频率；输出阻抗为 50Ω（150W/300W 为 BNC 接口，500W/1kW 为 N 型接口），供电方式根据功率段不同，支持单相 AC100~240V 或三相 AC200~260V 输入；设备具备过负荷保护、高反射输出限制及外部互锁功能，确保设备运行安全。

作为实验与量产场景通用的 RF 电源，ARIOS RP 系列广泛应用于半导体制造、材料表面处理、真空镀膜等领域，凭借其高稳定性、紧凑设计与灵活适配性，成为等离子工艺设备的可靠供电选择。

核心规格与配置

表格

项目	说明
适用频率	13.56MHz ± 1kHz
额定功率	150W（RP-151）、300W（RP-301）、500W（RP-502）、1kW（RP-1K02）
输出阻抗	50Ω（150W/300W：BNC 接口；500W/1kW：N 型接口）
供电方式	单相 AC100~240V（低功率段）；三相 AC200~260V（高功率段）
冷却方式	强制空冷
保护功能	过负荷保护、高反射输出限制、外部互锁
可选配件	M-BOX 自动匹配盒（MB-302/MB-502/MB-1K02）、手动控制器、RF 控制软件

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