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日本 DAIHEN 高周波等离子发生用电源

产品名称: 日本 DAIHEN 高周波等离子发生用电源
产品型号: AVANCER 系列
产品特点: 日本 DAIHEN 高周波等离子发生用电源
AVANCER 系列是搭载脉冲振荡、低功耗等下一代半导体制造工艺所需功能的高性能 RF 电源,专为等离子工艺设计,提供稳定、均匀且低损伤的等离子体输出,满足先进半导体制造的严苛需求。

日本 DAIHEN 高周波等离子发生用电源 的详细介绍

日本 DAIHEN 高周波等离子发生用电源

日本 DAIHEN 高周波等离子发生用电源DAIHEN AVANCER 系列是日本 DAIHEN 针对下一代半导体制造工艺开发的高性能高周波电源,以 “Fine Plasma Technology" 为核心,实现了稳定均匀、低损伤的等离子体发生,为半导体微细加工、3D 器件制造等先进工艺提供关键能量支持。

该系列电源的核心优势在于其基于多项关键技术的 “精细等离子体" 控制能力:整合了功率电子学、高周波技术、数字信号处理技术、磁场 / 电场控制技术及等离子体物理 / 测量技术,实现了对等离子体的高精度调控。设备搭载脉冲振荡功能,支持脉冲输出与频率调谐,可根据工艺需求实现能量的精准控制;低功耗设计提升了设备运行效率,同时减少工艺过程中的热损伤,适配半导体器件的高精密加工需求。
作为 DAIHEN 的旗舰级 RF 电源产品,AVANCER 系列经过社内等离子评估装置的严格验证,在实际等离子负载下进行操作验证与可靠性确认,确保设备在量产工艺中的稳定性与一致性。其设计理念聚焦于 “稳定均匀的等离子体" 与 “不会损坏设备的等离子体" 两大核心目标,解决了传统电源在复杂工艺中易出现的等离子体不均匀、设备损伤等问题,成为先进半导体制造工艺的理想供电方案。


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