日本 DAIHEN 高周波等离子发生用电源
日本 DAIHEN 高周波等离子发生用电源DAIHEN AVANCER 系列是日本 DAIHEN 针对下一代半导体制造工艺开发的高性能高周波电源,以 “Fine Plasma Technology" 为核心,实现了稳定均匀、低损伤的等离子体发生,为半导体微细加工、3D 器件制造等先进工艺提供关键能量支持。
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