高电压脉冲输出:可输出 0~±15kV 高压脉冲波,上升 / 下降沿时间小于 3μs,脉冲波形陡峭,利于高效激发等离子体。
宽频率调节范围:振荡频率 1kHz~30kHz 可调,间歇振荡频率 0.1kHz~3kHz,可根据工艺需求设置最佳工作参数。
双工作模式:支持连续 / 间歇两种模式,间歇模式可有效抑制对热敏基材的热损伤,适配温度敏感材料的等离子处理。
无需匹配盒:通过直接调节输出电压与频率,可适配多种负载条件,无需额外匹配装置,简化系统集成。
多重保护功能:具备过电流、过电力保护,防止设备因异常负载损坏,提升运行稳定性。
大气压等离子体发生(表面改性、清洗、活化)
真空等离子体工艺(溅射、刻蚀、沉积)
臭氧发生器供电
其他高压脉冲工艺应用
| 项目 | 说明 |
|---|---|
| 输出电压 | 0~±15kV |
| 振荡频率 | 1kHz~30kHz(连续模式);0.1kHz~3kHz(间歇模式) |
| 输出波形 | 快速上升 / 下降沿脉冲波(沿时间 < 3μs) |
| 输出容量 | 2kW |
| 电源输入 | 三相 200V 50/60Hz |
| 消耗电力 | 约 3kVA |
| 保护功能 | 过电流保护、过电力保护 |
| 高压变压器 | 绝缘油式 |
| 工作环境 | 温度 0~40℃、湿度 70% RH 以下(无冷凝) |
| 重量 | 本体约 35kg,高压变压器部约 20kg |
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