日本 YOSIO 静电卡盘专用高压双路电源

Name: 日本 YOSIO 静电卡盘专用高压双路电源ESC ±1kV 100mA 系列
Brand: 其他品牌
Price: 1111 CNY
Availability: InStock

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产品名称: 日本 YOSIO 静电卡盘专用高压双路电源

产品型号: ESC ±1kV 100mA 系列

产品特点: 日本 YOSIO 静电卡盘专用高压双路电源
专为半导体制造静电卡盘开发的双路高压电源，支持 ±1kV、100mA 双极性输出，具备电压电流监控与外部控制功能，适配 CC-Link/DNS/ 模拟 I/O 接口，可稳定控制硅晶圆吸附与脱离，是半导体工艺设备的核心配套电源。

日本 YOSIO 静电卡盘专用高压双路电源 的详细介绍

日本 YOSIO 静电卡盘专用高压双路电源

这款电源是日本 YOSIO 针对半导体制造中静电卡盘（ESC）应用开发的专用设备，采用双路独立输出设计，解决了传统单路电源极性切换复杂、晶圆吸附不平衡的痛点，为硅晶圆、玻璃基板的真空吸附固定提供稳定、可控的高压输出，广泛适配 PVD、CVD、蚀刻等半导体工艺。

电源支持 DC 0~+1kV / 0~-1kV 双路独立输出，电流范围 0~+100mA / 0~-100mA，两路输出非联动，可分别设置电压，满足双极性静电卡盘的供电需求。同时，电源内置电压、电流模拟监测输出，可实时反馈 ±1kV/±100mA 对应的监测信号，便于上位机监控晶圆的吸附与脱离状态。外部控制方面，电源支持 0~10V 模拟信号设定输出电压，OUT1 对应 0~+1kV、OUT2 对应 0~-1kV，且可实现极性反转功能，在晶圆脱离时自动反向极性，完成放电操作，确保晶圆安全释放。

设备采用机架式设计，外形尺寸 W209×D500×H99mm，重量仅约 3.8kg，节省设备安装空间。电源输入为单相 AC200V±10% 50/60Hz，纹波含量控制在 1% rms 以内，输出安定度在 300V~1kV 时 ±1% 以内，确保输出稳定无杂波。同时，电源内置多重保护功能，包括输入 NFB、输出过电流、输出电压垂下保护回路、外部基准电压抑制回路，有效应对负载波动与异常工况，保障设备与晶圆安全。此外，电源提供多种接口选项，支持 CC-Link、DNS 或模拟 I/O 通信，可无缝接入不同品牌的半导体设备控制系统，满足工业自动化集成需求。

核心性能与优势

双路独立双极性输出：支持 ±1kV、100mA 双路独立输出，可分别设置电压，适配双极性静电卡盘，实现晶圆均匀吸附。
高精度监控与控制：内置电压、电流模拟监测输出，可实时反馈吸附 / 脱离状态；支持 0~10V 外部信号设定，极性反转功能便于晶圆安全释放。
高稳定性与低纹波：纹波含量≤1% rms，输出安定度 ±1% 以内，确保半导体工艺中的稳定高压输出，无杂波干扰。
多重保护机制：具备输入过流、输出过流、电压垂下保护等功能，有效应对异常工况，保障设备与晶圆安全。
丰富接口选项：支持 CC-Link、DNS 或模拟 I/O 通信，可适配不同品牌半导体设备的控制系统，便于自动化集成。

典型应用场景

半导体制造设备中的静电卡盘（ESC）供电（PVD、CVD、蚀刻工艺）
硅晶圆、玻璃基板的真空吸附固定与脱离控制
半导体工艺设备自动化控制系统集成
液晶面板制造中的基板固定工艺

核心规格一览

表格

项目	规格说明
型号	ESC ±1kV 100mA 系列（CCL/DNS/ 模拟 I/O）
外形尺寸	W209 × D500 × H99 mm（除突起物）
重量	约 3.8kg
电源输入	单相 AC200V±10% 50/60Hz
输出电压	DC 0~+1kV / 0~-1kV（双路独立）
输出电流	直流 0~+100mA / 0~-100mA（双路独立）
纹波含量	1% rms 以内
输出安定度	300V~1kV 时 ±1% 以内
外部控制	0~10V 模拟信号设定，极性反转功能
通信接口	CC-Link、DNS 或模拟 I/O（可选）
保护功能	输入 NFB、输出过电流、输出电压垂下保护、外部基准电压抑制回路

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典型应用场景

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