日本 PRA 静电卡盘用高压电源

Name: 日本 PRA 静电卡盘用高压电源ESC 系列
Brand: 其他品牌
Price: 1321 CNY
Availability: InStock

点击看大图

产品名称: 日本 PRA 静电卡盘用高压电源

产品型号: ESC 系列

产品特点: 日本 PRA 静电卡盘用高压电源
专为半导体制造设备开发的 ESC 用高压电源，支持双极性输出与偏置电压补偿，可稳定控制静电卡盘对硅晶圆 / 玻璃基板的吸附力，解决等离子体工艺中的吸附不平衡问题，适配 PVD、CVD、蚀刻等多种半导体工艺。

日本 PRA 静电卡盘用高压电源 的详细介绍

日本 PRA 静电卡盘用高压电源

这款电源是日本 PRA 针对半导体制造中静电卡盘（ESC）应用开发的专用高压电源，解决了传统进口 ESC 电源维修成本高、周期长的痛点，通过自主电路板设计，实现了低成本、短交货期、长寿命的稳定输出，是半导体设备国产化替代的优质选择。

半导体制造过程中，静电卡盘（ESC）是固定硅晶圆的核心部件，其工作原理是通过高压电源向卡盘电极施加电压，使晶圆表面感应电荷，依靠静电吸附力实现固定。然而，等离子体工艺中晶圆表面会产生直流偏置，导致正负极吸附力不平衡，影响工艺稳定性。PRA 的 ESC 电源采用双极性输出设计，通过中心端子施加补偿偏置电压，有效抵消等离子体引起的偏置影响，实现晶圆的均匀吸附，确保 PVD、CVD、蚀刻等工艺的稳定进行。

设备采用机架式设计，配备液晶显示屏、多组状态指示灯与控制旋钮，支持电压设定、极性切换、偏置调节等功能，可直观监控电源状态并进行参数调整。同时，电源内置多重保护机制，能应对等离子体工艺中的负载波动，确保设备与晶圆的安全。相比传统进口电源，PRA 的 ESC 电源不仅降低了采购与维修成本，还大幅缩短了交货周期，为半导体制造企业提供了可靠的替代方案，广泛应用于硅晶圆加工、液晶面板制造等场景。

核心性能与优势

双极性输出与偏置补偿：支持双极性高压输出，可施加补偿偏置电压，抵消等离子体引起的吸附不平衡，实现晶圆均匀吸附。
自主电路设计：采用自主研发的电路板设计，相比进口电源，采购与维修成本更低，交货周期更短，使用寿命更长。
直观操作与监控：配备液晶显示屏、状态指示灯与控制旋钮，支持电压设定、极性切换、偏置调节，便于工艺参数调整与状态监控。
高稳定性与保护机制：内置多重保护功能，可应对等离子体工艺中的负载波动，确保设备与晶圆的安全运行。

典型应用场景

半导体制造设备中的静电卡盘（ESC）供电（PVD、CVD、蚀刻工艺）
硅晶圆、玻璃基板的真空吸附固定
液晶面板制造中的基板固定工艺
半导体设备国产化替代项目

核心规格一览

表格

项目	说明
输出类型	双极性高压输出，支持偏置电压补偿
控制功能	电压设定、极性切换、偏置调节、状态监控
显示与操作	液晶显示屏、多组状态指示灯、控制旋钮
保护机制	内置多重保护，应对负载波动与异常工况
适配工艺	PVD、CVD、蚀刻等半导体制造工艺
应用对象	硅晶圆、玻璃基板等半导体 / 显示面板材料

产品留言

日本 PRA 静电卡盘用高压电源

核心性能与优势

典型应用场景

核心规格一览

留言框

产品：

您的单位：

您的姓名：

联系电话：

常用邮箱：

省份：

详细地址：

补充说明：

验证码：