日本 KITANO 真空直线导入机（Z 轴）设备

Name: 日本 KITANO 真空直线导入机（Z 轴）设备KL-50Z / KL-100Z
Brand: 其他品牌
Price: 1234 CNY
Availability: InStock

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产品名称: 日本 KITANO 真空直线导入机（Z 轴）设备

产品型号: KL-50Z / KL-100Z

产品特点: 日本 KITANO 真空直线导入机（Z 轴）设备
一款专为超高真空环境设计的直线运动导入装置，可从大气侧向真空腔体内传递 Z 轴直线运动，实现样品或设备的位置调整，适配半导体、真空镀膜等精密实验场景。

日本 KITANO 真空直线导入机（Z 轴）设备 的详细介绍

日本 KITANO 真空直线导入机（Z 轴）设备

这款导入机是日本 KITANO 针对超高真空实验需求开发的核心配件，解决了传统真空运动装置泄漏量大、运动不稳定的痛点，以贝罗兹驱动技术与电解研磨工艺，为用户提供低泄漏、高精度的直线运动传递方案。

设备采用贝罗兹（波纹管）驱动方式，SUS316 材质驱动轴直径 φ8mm，移动时轴不旋转，避免对真空腔内样品造成干扰。KL-50Z 型号移动距离为 50mm，KL-100Z 型号为 100mm，位置刻度精度达 0.1mm，可实现精准的位置调整。容器内部经过电解研磨处理，许容泄漏量≤1.33×10⁻¹¹ Pa・m³/ 秒，可用于超高真空领域；许容加热温度≤200℃，适配高温实验环境。

设备连接法兰尺寸为 ICF-70 FH，安装便捷，可直接集成到真空腔体中。驱动部每旋转一周移动量为 2mm，操作简便，便于用户在大气侧进行运动控制。该设备广泛应用于真空实验样品的直进方向移动、位置调整，以及半导体、材料科学等领域的真空设备中。

核心性能与优势

超高真空兼容：电解研磨工艺 + 低泄漏设计，泄漏量≤1.33×10⁻¹¹ Pa・m³/ 秒，适配超高真空环境。
无旋转直线运动：贝罗兹驱动技术，移动时轴不旋转，避免对真空腔内样品造成干扰。
精准位置控制：0.1mm 位置刻度精度，可实现高精度的样品位置调整。
宽行程选择：提供 50mm（KL-50Z）和 100mm（KL-100Z）两种行程，适配不同实验需求。
高温耐受能力：许容加热温度≤200℃，适配高温真空实验场景。

典型应用场景

超高真空环境中实验样品的 Z 轴位置调整与移动
半导体设备中真空腔体内部件的直线运动控制
材料科学实验中样品的直进方向位移与定位
真空镀膜、离子注入等工艺中的样品台驱动

核心规格一览

表格

项目	KL-50Z	KL-100Z
移动距离	50mm	100mm
位置刻度精度	0.1mm	0.1mm
驱动轴径	φ8mm	φ8mm
连接法兰尺寸	ICF-70 FH	ICF-70 FH
许容泄漏量	≤1.33×10⁻¹¹ Pa・m³/ 秒	≤1.33×10⁻¹¹ Pa・m³/ 秒
许容加热温度	≤200℃	≤200℃
驱动方式	贝罗兹方式（SUS316）	贝罗兹方式（SUS316）
驱动部每转移动量	2mm	2mm
运动特性	移动时轴不旋转	移动时轴不旋转

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日本 KITANO 真空直线导入机（Z 轴）设备

核心性能与优势

典型应用场景

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