产品资料
HISOL HC/HTC 系列标准室温晶圆夹具
产品名称: HISOL HC/HTC 系列标准室温晶圆夹具
产品型号:
产品特点: HISOL HC/HTC 系列标准室温晶圆夹具适用于多尺寸晶圆的室温测试夹具，分为标准同轴 HC 系列与低噪声三轴 HTC 系列，支持肖特基等器件背面偏压标记与垂直器件测试，满足实验室 / 产线室温电学测量需求。
HISOL HC/HTC 系列标准室温晶圆夹具 的详细介绍
HISOL HC/HTC 系列标准室温晶圆夹具HISOL HC/HTC 系列标准室温晶圆夹具专为 2~12 英寸晶圆 / 芯片设计，提供两种结构版本：
HC 系列（标准同轴型）：通用室温测试夹具，结构稳定，适配常规器件室温电学特性测量。
HTC 系列（三轴型）：针对低噪声、低泄漏测量优化，弱信号测试场景更稳定。
夹具支持器件背面偏压标记，可对垂直型功率器件进行室温测试，覆盖 2/4/6/8/12 英寸全主流晶圆规格。
核心性能与优势
多尺寸全覆盖：2/4/6/8/12 英寸规格齐全，适配主流晶圆尺寸
双版本可选：标准同轴型与低噪声三轴型，满足不同测试精度需求
功能针对性强：专为器件背面偏压标记、垂直器件测试优化
低泄漏设计：三轴型适合低噪声、弱信号精密测量
室温稳定运行：专为室温环境设计，长期使用性能可靠
典型应用场景
半导体器件室温电学特性测试
肖特基二极管等器件背面偏压标记工艺
垂直结构功率器件室温可靠性验证
晶圆级芯片室温量产抽检
核心规格一览
表格
| 项目 | 规格说明 |
|---|---|
| 适配尺寸 | 2/4/6/8/12 英寸晶圆 / 芯片 |
| 结构版本 | HC 系列（标准同轴型）、HTC 系列（三轴型） |
| 适用温度 | 室温环境 |
| 核心功能 | 支持器件背面偏压标记、垂直器件室温测试 |
| 低噪声适配 | HTC 系列（三轴型）适用于低噪声、低泄漏测量 |
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