产品资料
HISOL HA 系列通用高温晶圆夹具
产品名称: HISOL HA 系列通用高温晶圆夹具
产品型号:
产品特点: HISOL HA 系列通用高温晶圆夹具适配多规格晶圆的通用高温夹具，分 200℃基础款与 300℃高温款，采用低噪声 DC 加热电源，支持背面偏压标记与垂直器件测试，满足实验室 / 产线高温特性验证需求。
HISOL HA 系列通用高温晶圆夹具 的详细介绍
HISOL HA 系列通用高温晶圆夹具HISOL HA 系列通用高温晶圆夹具
专为 4/6/8 英寸晶圆 / 芯片设计，温控范围覆盖室温～+200℃（HA 系列）与室温～+300℃（HA-H 系列）；采用 DC 控制加热器，电磁噪声低，适配低泄漏精密测量；可选自然冷却或压缩空气强制冷却，实现稳定控温与快速降温；提供标准同轴型与低噪声三轴型，支持器件背面偏压标记、垂直型功率器件高温测试。
核心性能与优势
多尺寸覆盖：4/6/8 英寸全兼容，适配主流晶圆规格
双温区选择：200℃/300℃两档，满足不同高温工况
低噪声设计：DC 加热电源，不干扰弱信号测量
双冷却模式：自然冷却 / 压缩空气冷却可选，控温灵活
专用测试支持：专为背面偏压标记、垂直器件测试优化
典型应用场景
半导体器件高温电学特性测试
肖特基二极管等器件背面偏压标记工艺
垂直结构功率器件高温可靠性验证
晶圆级芯片高温量产抽检
核心规格一览
表格
| 项目 | 规格说明 |
|---|---|
| 适配尺寸 | 4/6/8 英寸晶圆 / 芯片 |
| 温控范围 | HA 系列：R.T.~+200℃；HA-H 系列：R.T.~+300℃ |
| 加热方式 | DC 控制加热器（低噪声） |
| 冷却方式 | 自然冷却 / 压缩空气强制冷却（可选） |
| 结构版本 | 标准同轴型 / 低噪声三轴型（可选） |
| 适用场景 | 半导体高温电学测试、背面偏压标记、器件可靠性验证 |
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