产品分为三类:峰热电偶采用细径石英管;高温炉热电偶配备 SiC 碳化硅保护套管,耐高温;L 形石英热电偶为 90° 弯管结构,适配炉体侧向安装,三款均适配扩散炉、CVD 薄膜沉积设备实时测温。
全产业链自主加工贵金属丝与石英套管,货源供给稳定可控;
废旧热电偶回收提纯贵金属,减少客户长期耗材采购成本;
五千级无尘车间完成组装,无粉尘杂质污染,适配晶圆制程;
每支产品经专业校准设备检测,温控测量数据精准无偏差;
三种外形结构可选,适配直装、侧装、小型腔体等各类炉体;
高纯石英与 SiC 双重防护材质,耐高温耐炉内腐蚀性气体,使用寿命更长。
半导体扩散炉管式炉加热器温度闭环调控
砂 CVD 薄膜沉积设备高精度炉内温度采集
晶圆热处理高温洁净炉实时温度监测
半导体热处理设备长期连续测温作业
| 产品名称 | 保护管材质 | 适配设备 | 结构特点 |
|---|---|---|---|
| 峰热电偶 | 高纯石英细管 | 扩散炉 CVD 设备 | 细径分体引线,体积小巧易安装 |
| 高温炉用热电偶 | SiC 碳化硅保护管 | 高温扩散炉 | 长直杆耐高温,集成多端子引线 |
| L 形石英热电偶 | 高纯石英弯管 | 侧向开口管式炉 | 90 度折弯造型,适配炉腔侧面安装 |
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