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日本古谷金属 半导体石英热电偶

产品名称: 日本古谷金属 半导体石英热电偶
产品型号: FURUYA METAL
产品特点: 日本古谷金属 半导体石英热电偶
专为半导体扩散炉、砂 CVD 设备配套,精准管控加热器输出温度,包含峰、高温炉、L 形三种结构款式。

日本古谷金属 半导体石英热电偶 的详细介绍
日本古谷金属 半导体石英热电偶
日本古谷金属 半导体石英热电偶
日本古谷金属自研半导体专用测温热电偶,全流程自产贵金属线材、高纯石英保护管,具备完整闭环生产链路,可回收废旧热电偶线材精炼再利用,节省 PGM 贵金属原料成本。
产品全部在 5000 级洁净室内完成原料存放、组装与检测,配套专业热电偶校准设备,精准修正热电势与标准温度的误差,测温精度稳定,符合半导体无尘生产严苛要求。

产品分为三类:峰热电偶采用细径石英管;高温炉热电偶配备 SiC 碳化硅保护套管,耐高温;L 形石英热电偶为 90° 弯管结构,适配炉体侧向安装,三款均适配扩散炉、CVD 薄膜沉积设备实时测温。


核心性能与优势
  1. 全产业链自主加工贵金属丝与石英套管,货源供给稳定可控;

  2. 废旧热电偶回收提纯贵金属,减少客户长期耗材采购成本;

  3. 五千级无尘车间完成组装,无粉尘杂质污染,适配晶圆制程;

  4. 每支产品经专业校准设备检测,温控测量数据精准无偏差;

  5. 三种外形结构可选,适配直装、侧装、小型腔体等各类炉体;

  6. 高纯石英与 SiC 双重防护材质,耐高温耐炉内腐蚀性气体,使用寿命更长。


典型应用场景
  • 半导体扩散炉管式炉加热器温度闭环调控

  • 砂 CVD 薄膜沉积设备高精度炉内温度采集

  • 晶圆热处理高温洁净炉实时温度监测

  • 半导体热处理设备长期连续测温作业


产品细分规格说明
表格
产品名称保护管材质适配设备结构特点
峰热电偶高纯石英细管扩散炉 CVD 设备细径分体引线,体积小巧易安装
高温炉用热电偶SiC 碳化硅保护管高温扩散炉长直杆耐高温,集成多端子引线
L 形石英热电偶高纯石英弯管侧向开口管式炉90 度折弯造型,适配炉腔侧面安装


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